[实用新型]一种靶材的喷砂遮蔽治具

说明书

本实用新型公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具，涉及靶材喷砂治具，它包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部，所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构，所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板，所述遮板上端固定连接有壳体，所述壳体下端对称连通设有多个吸气管，多个所述吸气管下端均设有吸盘，多个所述吸盘下端与靶材上端接触，所述靶材上设有用于抽出吸盘内空气的抽气机构。本实用新型能够对非喷砂部进行有效地遮挡，从而保证了喷砂后的靶材达到使用标准，另外装置能够紧紧吸附在靶材表面，喷砂过程装置不会脱落，进一步保证了靶材喷砂的质量。

技术领域

本实用新型涉及靶材喷砂治具机技术领域，尤其涉及一种靶材的喷砂遮蔽治具。

背景技术

靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料，通常都需要进行磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。在靶材进行溅射之前，需要进行喷砂处理，以使得靶材获得较好的机械性能，而在进行喷砂时，只需针对溅射面的部分进行喷砂，而其中一部分不需要喷砂，即非喷砂部需要保护起来，使其免受喷砂的影响，以使得该靶材在喷砂过程中不会报废。

现有技术中对于非喷砂部采用的保护措施是通过胶带的粘贴实现的，由于采用的胶带自身强度有限，胶带会在喷砂过程中会破损，导致继续喷砂过程中非喷砂部受到损伤，导致靶材报废，并且胶带的宽度较小，使得在遮蔽时无法将非喷砂部完全遮蔽，最终导致喷砂后的靶材不达标而无法使用，所以，需要设计一种靶材的喷砂遮蔽治具来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种靶材的喷砂遮蔽治具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种靶材的喷砂遮蔽治具，包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部，所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构，所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板，所述遮板上端固定连接有壳体，所述壳体下端对称连通设有多个吸气管，多个所述吸气管下端均设有吸盘，多个所述吸盘下端与靶材上端接触，所述靶材上设有用于抽出吸盘内空气的抽气机构。

优选地，所述抽气机构包括固定连接在壳体上端的抽气管，所述抽气管内设有活塞，所述活塞侧壁固定连接有拉杆，所述拉杆一端贯穿抽气管侧壁，所述拉杆远离抽气管的一端固定连接有拉环，所述壳体上设有用于固定拉环的固定机构。

优选地，所述固定机构包括固定连接在壳体上端的第一固定板，所述第一固定板侧壁贯穿设有限位杆，所述限位杆侧壁固定套接有固定环，所述限位杆侧壁设有弹簧，所述弹簧一端与固定环侧壁固定连接，所述弹簧另一端与第一固定板侧壁固定连接。

优选地，所述壳体上端固定连接有第二固定板，所述第二固定板设有与限位杆匹配的限位孔，所述限位杆远离第二固定板的一端固定连接有挡片。

优选地，所述壳体上端设有出气口，所述抽气管下端设有开口，所述出气口位于开口正下方。

优选地，所述遮板长度大于非喷砂部长度，所述遮板宽度大于非喷砂部宽度。

本实用新型中，具有以下有益效果：

1、本装置设置了遮挡机构，将壳体放置在靶材上端，使得遮板遮住非喷砂部表面，由于遮板宽度、长度均大于非喷砂部，因而能够对非喷砂部进行有效地遮挡，从而保证了喷砂后的靶材达到使用标准；

2、本装置设置了抽气机构与固定机构，向右拉动拉环，活塞向右移动，吸盘内的空气进入抽气管内，拉动挡片，使得限位杆与第二固定板侧壁的限位孔分离，限位杆在弹簧弹性作用下穿过拉环内圈并伸入限位孔中，从而防止活塞向左移动，使得紧紧吸附在靶材表面，进而使得喷砂过程装置不会脱落，进一步保证了靶材喷砂的质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种靶材的喷砂遮蔽治具的结构示意图；