[实用新型]防微振微位移调节装置

说明书

本实用新型公开了一种防微振微位移调节装置，所述防微振微位移调节装置包括基体、磁性组件、承载组件、储液器和驱动装置，所述基体内具有腔室，所述基体上设有开口，所述开口与所述腔室连通，所述磁性组件设在所述腔室内且与所述基体相连，所述承载组件包括平台和悬浮构件，所述储液器内储存有磁性液体，所述驱动装置与所述储液器和所述容纳腔连通，所述驱动装置可将所述储液器内的磁性液体通入所述容纳腔内且可将所述容纳腔内的磁性液体排出并储存在所述储液器内。本实用新型的防微振微位移调节装置利用磁性液体控制，具有响应迅速、结构紧凑的特点。

技术领域

本实用新型涉及微细及超精密加工、精密测试与装配领域，具体地，涉及一种防微振微位移调节装置。

背景技术

随着生产技术的发展，现代机械加工工业已步入精密、超精密时代。在超精密测量和控制中，精密仪器的测量和控制精度不仅与仪器本身的精度有关，周围环境振动干扰的影响也是决定测量和控制精度的关键环节。由于环境振动的影响，在电镜类精密光学仪器中，设备受到的微振动都可能会导致测试结果出现误差，因此防微振技术的研究具有非常重要的理论意义和实用价值。

防微振就是通过对精密设备隔振及对精密设备的微振动主动控制等措施，使振动值减少到低于精密设备的容许振动值，使精密设备正常工作。高精度的隔振平台不仅要求隔绝如机器运转、车辆行驶、人员走动等引起的宏观振动，而且还要求隔绝由于地球自转等因素所引起的细微振动。现有隔振器多使用弹簧、橡胶等材质隔绝震动，精密仪器隔振使用气流悬浮隔振，但是其设备复杂，反应迟钝，对精密操作及高精密操作的误差影响较大。

实用新型内容

为此，本实用新型的实施例提出一种利用磁性液体控制、磁响应迅速、结构紧凑、控制精准的防微振微位移调节装置。

根据本实用新型实施例的防微振微位移调节装置包括基体、磁性组件、承载组件、储液器和驱动装置，所述基体内具有腔室，所述基体上设有开口，所述开口与所述腔室连通，所述磁性组件设在所述腔室内且与所述基体相连，所述承载组件包括平台和悬浮构件，所述悬浮构件的一端与所述平台相连，所述悬浮构件的另一端通过所述开口伸入所述腔室内，且与所述磁性组件相对且间隔布置以形成容纳腔，所述储液器内储存有磁性液体，所述驱动装置与所述储液器和所述容纳腔连通，所述驱动装置可将所述储液器内的磁性液体通入所述容纳腔内且可将所述容纳腔内的磁性液体排出并储存在所述储液器内，以驱动所述承载组件远离所述磁性组件移动和靠近所述磁性组件移动。

根据本实用新型实施例的防微振微位移调节装置利用磁性液体进行防微振，能够提高控制精度，减小误差。

在一些实施例中，所述腔室的底部壁面上设有环形凸起，所述磁性组件设在所述腔室的壁面上且位于所述环形凸起内。

在一些实施例中，所述磁性组件包括铁芯、第一环形永磁体和第二环形永磁体，所述第一环形永磁体套设在所述铁芯上，所述第二环形永磁体套设在所述第一环形永磁体上，且所述第二环形永磁体的外周面与所述环形凸起的内周面相贴合。

在一些实施例中，所述铁芯的高度、所述第一环形永磁体的高度和所述第二环形永磁体的高度均与所述环形凸起的高度相同。

在一些实施例中，所述驱动装置包括控制泵、进液管道和出液管道，所述出液管道的一端与所述储液器连通，所述出液管道的另一端与所述控制泵的一端连通，所述控制泵的另一端与所述进液管道的一端连通，所述进液管道的一端与所述容纳腔连通。

在一些实施例中，所述控制泵为蠕动泵。

在一些实施例中，所述环形凸起内设有液体通道，所述液体通道与所述容纳腔和所述进液管道连通。

在一些实施例中，所述液体通道、所述进液管道、所述出液管道均为多个，且多个所述液体通道和多个所述进液管道对应连通，多个所述进液管道和多个所述出液管道对应连通。