[实用新型]一种压电元件、压电振动器及电子设备

说明书

本实用新型提供了一种压电元件、压电振动器及电子设备，涉及压电技术领域。本实用新型通过在第一电极上设置压电结构，并在压电结构上设置第二电极，且第二电极包括依次设置在压电结构上的导电层和抗氧化层，该导电层被配置为当压电元件发生击穿短路时，在压电元件的击穿位置与抗氧化层发生固溶，并氧化生成绝缘材料。通过采用导电层和抗氧化层作为压电元件的顶电极，在压电元件中的压电结构发生击穿短路时，基于短路产生的大量热量使得导电层融化，则抗氧化层和导电层会形成固溶体，缺失抗氧化层的导电层会发生氧化反应变为绝缘材料，使得压电元件的击穿位置从短路变为断路，避免压电元件某一位置发生击穿短路而导致整个压电元件失效。

技术领域

本实用新型涉及压电技术领域，特别是涉及一种压电元件、压电振动器及电子设备。

背景技术

随着电子技术的急速进步，人们对电子设备的使用体验的要求越来越高，目前的电子设备大多数只能提供视觉和听觉上的体验，无法给用户带来触觉体验，因此，触觉再现技术应运而生。

现有的触觉再现技术是在电子设备中设置压电元件，通过压电元件的振动来提供触觉反馈。然而，现有的压电元件在使用时，当电极表面的电荷分布不均或提供的电压过高时，会将压电元件中的压电结构击穿，则压电结构两侧的第一电极和第二电极之间会产生短路，进而导致压电元件失效。

实用新型内容

本实用新型提供一种压电元件、压电振动器及电子设备，以解决现有的当电极表面的电荷分布不均或提供的电压过高时，会将压电元件中的压电结构击穿，导致压电元件失效的问题。

为了解决上述问题，本实用新型公开了一种压电元件，包括：第一电极、设置在所述第一电极上的压电结构以及设置在所述压电结构上的第二电极；所述第二电极包括依次设置在所述压电结构上的导电层和抗氧化层；

所述导电层，被配置为当所述压电元件发生击穿短路时，在所述压电元件的击穿位置与所述抗氧化层发生固溶，并氧化生成绝缘材料。

可选的，所述导电层的材料为铟，所述抗氧化层的材料为金。

可选的，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述导电层的厚度为485nm至515nm，所述抗氧化层的厚度为13.5nm至16.5nm。

可选的，所述第二电极还包括设置在所述压电结构与所述导电层之间的黏附层。

可选的，所述黏附层的材料为镍；在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述黏附层的厚度为9nm至11nm。

可选的，所述压电结构的材料为压电陶瓷；在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述压电结构的厚度小于5μm。

可选的，所述第一电极的材料为氧化铟锡；在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第一电极的厚度为100nm至500nm。

为了解决上述问题，本实用新型还公开了一种压电振动器，包括衬底以及设置在所述衬底上的多个上述的压电元件。

可选的，所述压电振动器还包括覆盖所述衬底和各个所述压电元件的绝缘层，所述绝缘层具有与每个所述压电元件对应的第一过孔和第二过孔；

所述压电振动器还包括设置在所述绝缘层远离所述压电元件一侧的走线层，所述走线层包括与每个所述压电元件对应的第一信号线和第二信号线，每条所述第一信号线通过所述第一过孔与对应的所述压电元件中的所述第一电极连接，每条所述第二信号线通过所述第二过孔与对应的所述压电元件中的所述第二电极连接。

为了解决上述问题，本实用新型还公开了一种电子设备，包括上述的压电振动器。

与现有技术相比，本实用新型包括以下优点：