[实用新型]一种多晶硅还原炉智能激光清洗机

说明书

本实用新型涉及还原炉清洗技术领域，且公开了一种多晶硅还原炉智能激光清洗机，包括固定板，固定板上方的前侧设置有伺服电机，伺服电机输出端固定连接有转动轴，转动轴后端固定连接有第一转动板，第一转动板背面固定连接有连接轴，连接轴外表面的后端固定连接有第二转动板，限位圆槽的顶端内部可滑动连接有滑块。该多晶硅还原炉智能激光清洗机，通过伺服电机、转动轴、第一转动板、第二转动板、连接轴、滑块、工型板和伸缩杆的配合作用，可以对激光清洗头的高度进行调节，使装置可以适应于不同尺寸的还原炉底盘，通过限位板、螺纹帽、保护海绵块和防滑凸块的配合作用，可以对激光清洗头进行一定的保护。

技术领域

本实用新型涉及还原炉清洗技术领域，具体为一种多晶硅还原炉智能激光清洗机。

背景技术

目前，在多晶硅生产过程中，使用最广泛的是化学气相沉积法，此法是通过对多晶硅沉积载体通电，以加热还原炉内气体，使还原炉内气体发生反应而生成硅并沉积在载体上，从而达到制备高纯多晶硅的目的，但是，在还原炉内的高温反应过程中，会在还原炉底盘表面沉积形成积垢，积垢的形成会对还原炉的绝缘性能、能耗指标、产品质量等产生严重的影响，需要清除还原炉底盘表面的积垢，现有的多晶硅还原炉智能激光清洗机清洗效果不佳、清洗不彻底，同时由于采用化学药剂进行清洗，在还原炉生产过程中引入了新的污染源。

在中国专利公告号CN209393667U中公开了一种还原炉底盘清洗设备，该还原炉底盘清洗设备将装配好的清洗设备整体吊运至还原炉底盘处，激光发生装置发出振荡光束通过激光传输装置传送至激光清洗头，激光清洗头进行清洗工作，并对污染物碎片进行清除，激光清洗装置发射的激光光束被还原炉底盘表面上的污染物所吸收；大能量的吸收形成急剧膨胀的等离子体，并产生冲击波；冲击波使污染物变成碎片并被剔除，但是这种方式存在很大缺陷：对激光清洗头的高度进行调节比较不方便，降低装置的适应性，并且激光清洗头发射的激光光束能量不同对积垢的处理效果也不同，导致装置的除垢效果比较不好，降低了实用性，不利于推广使用。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多晶硅还原炉智能激光清洗机，解决了对激光清洗头的高度进行调节比较不方便，降低装置的适应性，并且激光清洗头发射的激光光束能量不同对积垢的处理效果也不同，导致装置的除垢效果比较不好，降低了实用性，不利于推广使用的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种多晶硅还原炉智能激光清洗机，包括固定板，固定板上方的前侧设置有伺服电机，伺服电机输出端固定连接有转动轴，转动轴后端固定连接有第一转动板，转动轴设置在第一转动板正面的上方，第一转动板背面固定连接有连接轴，连接轴外表面的后端固定连接有第二转动板，第一转动板的正面和背面与第二转动板的正面和背面均开设有限位圆槽，限位圆槽的顶端内部可滑动连接有滑块，固定板上方设置有支撑板，支撑板下表面的前端和后端均固定连接有工型板，四组滑块外侧面分别与两组工型板内腔前侧壁和内腔后侧壁固定连接，支撑板上表面固定连接有多轴机械手，多轴机械手输出端固定连接有激光清洗结构，激光清洗结构下表面固定连接有激光清洗头，激光清洗头下表面的右端固定连接有两组限位板，限位板外表面的底端设置有调节螺纹，限位板外表面螺装有螺纹帽，螺纹帽内腔底侧壁固定连接有保护海绵块，保护海绵块上表面开设有放置槽，激光清洗头底端设置在放置槽内部，激光清洗头外表面与保护海绵块内腔侧壁接触，固定板上表面的四角均固定连接有伸缩杆，伸缩杆顶端与支撑板下表面固定连接。

优选的，所述固定板左侧面的中间部位固定连接有推杆，推杆顶端固定连接有把手，把手外表面的前端和后端均固定连接有把套。

优选的，所述连接轴后端固定连接有稳定板，稳定板下表面与固定板上表面的后端固定连接。

优选的，所述螺纹帽外表面固定连接有多组防滑凸块，防滑凸块外表面固定粘接有防滑橡胶垫。