[实用新型]一种提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置

说明书

本实用新型公开了一种提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置，包括冷凝管和设置于所述冷凝管正面的百叶窗结构防护板，所述百叶窗结构防护板包括百叶窗固定壳、两个支撑柱、若干个百叶条、若干个第一转轴和若干个第二转轴，所述百叶条的倾斜角度设置为45°‑70°。本实用新型采用百叶窗结构防护板，其百叶条的倾斜角度设置为45°‑70°，从而可以有效防止蒸镀过程中材料污染冷凝管，且保留了气流通道，空气流通性良好，不会阻碍水汽深冷捕集泵冷凝管对水汽的吸附，从而有效解决了现有技术中安装实心防护板造成的水汽吸收效率差的问题。此外，百叶窗固定壳的抗压减震性良好。

技术领域

本实用新型涉及水汽深冷捕集泵领域，具体为一种水汽深冷捕集泵冷凝管提高吸收水汽效率的装置。

背景技术

水汽深冷捕集泵为真空镀膜设备必不可少的水汽捕捉装置，腔室内水汽收集完全依靠其冷凝管完成，由于真空镀膜是材料以分子的方式进行沉积，而真空镀膜过程中冷凝管如果不做防护会造成效率低，及清洁过程中造成冷凝管损坏等一些列问题。

为改善冷凝管表面不被污染一般会在其表面安装一套实心防护板，虽然能够防止冷凝管被膜层被污染，但是也遮蔽了冷凝管的水汽吸收效率，导致设备抽真空时间过长。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种水汽深冷捕集泵冷凝管提高吸收水汽效率的装置，其既能起到防止冷凝管被污染的作用，又能有效解决安装防护板造成的水汽吸收效率差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置，包括冷凝管和设置于所述冷凝管正面的百叶窗结构防护板，所述百叶窗结构防护板包括百叶窗固定壳、两个支撑柱、若干个百叶条、若干个第一转轴和若干个第二转轴，所述百叶窗固定壳两侧的中部均固定安装有支撑柱，两个所述支撑柱通过第一转轴分别与若干个百叶条两侧的一端转动连接，所述冷凝管设置于所述百叶窗固定壳的背面，所述百叶窗固定壳两侧的一端分别通过若干第二转轴与若干个百叶条两侧的另一端固定连接；所述百叶条的倾斜角度设置为45°-70°。

作为本实用新型提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置的一种改进，若干个所述冷凝管均设置为S形。

作为本实用新型提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置的一种改进，所述百叶窗固定壳的厚度为3-5mm。

作为本实用新型提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置的一种改进，所述百叶窗固定壳与若干个冷凝管的连接处均开设有防脱落开口。

作为本实用新型提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置的一种改进，所述百叶窗固定壳与若干个百叶条的连接处均开设有限位孔。

作为本实用新型提高水汽深冷捕集泵冷凝管吸收水汽效率的装置的一种改进，所述百叶窗结构防护板背面的两端均固定安装有挂钩。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

第一，本实用新型采用百叶窗结构防护板，其百叶条的倾斜角度设置为45°-70°，从而可以有效防止蒸镀过程中材料污染冷凝管，且保留了气流通道，空气流通性良好，不会阻碍水汽深冷捕集泵冷凝管对水汽的吸附，从而有效解决了现有技术中安装实心防护板造成的水汽吸收效率差的问题。此外，百叶窗固定壳的抗压减震性良好。

第二，水汽深冷捕集泵效率提升后对抽真空时间有效缩短，实用性高，本实用新型可用于真空蒸镀设备、磁控溅镀设备等一系列真空镀膜设备。

附图说明

图1为本实用新型的侧视图；

图2为本实用新型中百叶窗结构防护板的结构示意图之一；

图3为本实用新型中百叶窗结构防护板的结构示意图之二。