[实用新型]一种石墨舟舟片拆洗夹具装置

说明书

本实用新型提供一种石墨舟舟片拆洗夹具装置。所述石墨舟舟片拆洗夹具装置，包括：底座，所述底座内壁的两侧之间固定连接有滑动杆，所述滑动杆的表面滑动连接有两个滑动块，两个所述滑动块的顶部均固定连接有第一连接杆。本实用新型提供的一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，通过启动伺服电机进而使得两个舟片夹紧托盘相互靠近对舟片进行夹紧，根据舟片的高度手动按压限位杆对舟片纵向进行夹紧，横向和纵向的对舟片进行夹紧，使得舟片在清洗或者工作时不会发生偏移，通过设置的舟片卡槽和流水槽，使得舟片清洗的表面范围更大，提高了清洗效率，且有效防止清洗时石墨舟舟片的偏移，流水孔的设置使得废水便于排出，防止废水长期滞留影响装置使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟领域，尤其涉及一种石墨舟舟片拆洗夹具装置。

背景技术

太阳能电池生产制造工艺有制绒、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷，其在PECVD工序，需要用到一种硅片载具—石墨舟，PECVD管式镀膜即将插满刻蚀后硅片的石墨舟一同进入CT炉管镀氮化硅薄膜，每镀膜一次，石墨舟舟片表面都会吸附一定量的氮化硅膜，当该石墨舟使用到一定次数时，其舟片表面将会沉积一层较厚的氮化硅膜，且石墨舟上的工艺卡点槽内也会积满氮化硅，舟片表面附着较厚的氮化硅后，再次镀膜时，石墨舟片较吸附较少的氮化硅，而硅片必然将吸附更多的氮化硅，这会造成硅片表面膜厚不均匀，极易产生色差片，造成返工，工艺卡点槽内的氮化硅的积多会使硅片插不进工艺卡点，极易造成崩边、崩点，产生碎片。

此时需要对石墨舟进行清洗，而目前大多采用整舟清洗，将整个石墨舟放置清洗机内进行清洗，这样能洗掉舟片上的大量氮化硅，这样清洗的范围比较小，仍然有少量氮化硅残留在舟片上，且清洗时舟片容易产生偏移，这样的石墨舟返回车间继续使用会造成大量色差片、返工片，产生崩边片崩点片，清洗的废水容易滞留，导致影响装置的使用寿命，因此，有必要提供一种石墨舟舟片拆洗夹具装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，解决了舟片清洗时偏移和废水容易滞留的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，包括：底座，所述底座内壁的两侧之间固定连接有滑动杆，所述滑动杆的表面滑动连接有两个滑动块，两个所述滑动块的顶部均固定连接有第一连接杆，两个所述第一连接杆的顶端均固定连接有舟片夹紧托盘，两个所述舟片夹紧托盘为直角型，使得各种大小不同的舟片被夹持的范围更大更紧，两个所述滑动块的底部均固定连接有推动块，所述底座内壁的底部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有转动杆，所述底座内壁的底部且位于所述伺服电机的左侧固定连接有限位块，所述限位块的内部滑动连接有推动杆，所述推动杆的表面固定连接有连接块，所述连接块的正面转动连接有第二连接杆，所述第二连接杆的另一端固定连接有铰接块，所述转动杆与所述铰接块转动连接。

优选的，所述底座的顶部固定连接有两个横板，两个所述横板的内部滑动连接有两个限位杆，两个所述限位杆的一端固定连接有拉杆，所述横板的一侧固定连接有第一回力弹簧，所述第一回力弹簧的另一端与所述拉杆固定连接。

优选的，两个所述舟片夹紧托盘相离的一侧均开设有流水槽，两个所述舟片夹紧托盘的顶部开设有若干个舟片卡槽。

优选的，所述底座的顶部开设有滑动槽，所述滑动槽内壁的两侧均固定连接有第二回力弹簧，两个所述第二回力弹簧的另一端与所述连接杆固定连接。

优选的，两个所述横板的内部均开设有两个圆孔槽。

优选的，所述底座的底部开设有两个流水孔。

优选的，所述底座的两侧均固定连接有把手。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种石墨舟舟片拆洗夹具装置具有如下有益效果：