[实用新型]一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置有效
| 申请号： | 202022457523.2 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213615044U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王凯;秦静 | 申请（专利权）人： | 美若科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04;B23Q3/00;B24B41/06;C23C16/458;C23C16/27;C23C16/50 |
| 代理公司： | 济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙) 37323 | 代理人： | 刘真 |
| 地址： | 276800 山东省日*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mpcvd 金刚石 承载 装置 | ||
1.一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置，包括固定底座(1)、安装支架(2)和转动承载台(3)，其特征在于：所述安装支架(2)焊接在所述固定底座(1)顶部，所述转动承载台(3)转动安装在两个所述安装支架(2)之间，所述转动承载台(3)顶部开设有安装槽(5)，所述安装槽(5)底部活动安装有支撑组件(6)，所述安装槽(5)底部开设有顶料通槽(7)，所述顶料通槽(7)内活动安装有梯形块(8)，所述梯形块(8)的一端通过连接杆(9)焊接有调节把手(10)，所述转动承载台(3)底部固定安装有伸缩式吸附组件(11)，所述转动承载台(3)的一侧通过电源线设置有电源插头。
2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置，其特征在于：所述固定底座(1)顶部胶接有减震垫(4)，所述电源线为插接式电源线。
3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置，其特征在于：所述梯形块(8)为直角梯形块，所述减震垫(4)的材质为耐高温橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置，其特征在于：所述伸缩式吸附组件(11)包括电动伸缩杆(12)、安装板(13)和吸附管(14)，所述安装板(13)固定安装在所述电动伸缩杆(12)的伸缩端。
5.根据权利要求4所述的一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置，其特征在于：所述吸附管(14)固定安装在所述安装板(13)上，所述吸附管(14)内固定安装有真空泵(15)。
6.根据权利要求5所述的一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置，其特征在于：所述吸附管(14)底部固定安装有吸附盘(16)，所述真空泵(15)与所述吸附盘(16)连通。
7.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD单晶金刚石的基片承载装置，其特征在于：所述支撑组件(6)包括支撑板(17)和顶出块(18)，所述支撑板(17)焊接在所述顶出块(18)，所述顶出块(18)活动穿设在所述安装槽(5)和所述顶料通槽(7)之间。
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