[实用新型]一种等离子去胶机的机械支撑构件有效
申请号: | 202022439938.7 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN213712400U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 钟兴进 | 申请(专利权)人: | 广州市鸿浩光电半导体有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;F16M11/20;F16F15/067;G03F7/42 |
代理公司: | 广州正驰知识产权代理事务所(普通合伙) 44536 | 代理人: | 洪安鹏 |
地址: | 510000 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 等离子 去胶机 机械 支撑 构件 | ||
本实用新型涉及安装防护技术领域,具体为一种等离子去胶机的机械支撑构件,包括支撑件以及内部安装固定的加强机构;支撑件的上端固定连接有安装平台,安装平台的底部与支撑件上端固定连接,且支撑件的内部插接有插接件,本实用新型设置加强机构,当支撑件与去胶机主体连接时,通过加强机构与插接件组合连接,使得加强机构与安装平台之间整体连接,同时通过加强机构的底部与连接插件连接,使得去胶机支撑件上端施加的重力转移为对支撑件整体施加重力,从而使得整体的重心下移,提高了支撑件对去胶机支撑的稳固效果,同时提高了支撑件整体的支撑效果,加强的支撑件承受力。
技术领域
本实用新型涉及安装防护技术领域,具体为一种等离子去胶机的机械支撑构件。
背景技术
等离子去胶机采用离子去胶法,去胶气体为氧气。其工作原理是将硅片置于真空反应系统中,通入少量氧气,加1500V高压,由高频信号发生器产生高频信号,使石英管内形成强的电磁场,使氧气电离,形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧(活泼的原子态氧)可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体,被机械泵抽走,这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。等离子去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保。
等离子去胶机的支撑结构传统采用的是支撑杆连接,上端通过螺栓与去胶机的主体连接,然而这种安装方式使得去胶机整体的重量施压在支撑杆的上端,使得支撑杆的整体重心上移,容易导致载荷过大,导致支撑杆发生断裂以及与螺栓件之间发生脱离,造成去胶机损坏的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种等离子去胶机的机械支撑构件固定用加强机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种等离子去胶机的机械支撑构件,包括支撑件以及内部安装固定的加强机构;所述的支撑件的上端固定连接有安装平台,所述的安装平台的底部与所述的支撑件上端固定连接,且所述的支撑件的内部插接有插接件;所述的加强机构固定在支撑件的内部,且所述的加强机构的上端在支撑件内部垂直固定在插接件的内部,且所述的插接件的两端延伸至支撑件的外部。
优选的,所述的加强机构包括套接杆与弹簧件以及插接环套,所述的套接杆贯穿所述的插接件的内部且通过螺栓配合固定在插接件的内部,所述的套接杆的底部与所述的弹簧件的上端部固定连接,所述的插接环套固定在弹簧件的底部,且所述的弹簧件的内部设置有插接口,所述的插接口的内部插接有连接插件,且所述的连接插件侧端延伸至支撑件的外部并固定在支撑件的外壁上。
优选的,所述的插接件的两端连接有连接杆,所述的插接件延伸出支撑件的两端内部设置有穿孔,所述的连接杆的侧端通过螺栓与穿孔配合固定在所述的插接件的外部,所述的连接杆的另一端连接有连接脚板,所述的连接脚板焊接在所述的安装平台的底端面上。
优选的,所述的支撑件的底部连接有承托板,且承托板的内部设置有固定孔,所述的支撑件通过固定孔与承托板配合固定连接,且所述的支撑件的内部插接有限位件与抵接件,所述的限位件与抵接件抵接在弹簧件的外侧面上。
优选的,所述的插接环套的内部设置有安装腔体,所述的弹簧件的底端套接在所述的安装腔体的内部,且所述的弹簧件的外侧与所述的插接环套的内壁固定连接。
优选的,所述的安装平台的内部设置有安装孔,所述的安装平台通过安装孔与去胶机设备主体固定连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、通过在支撑件的内部设置加强机构,当支撑件与去胶机主体连接时,通过加强机构与插接件组合连接,使得加强机构与安装平台之间整体连接,同时通过加强机构的底部与连接插件连接,使得去胶机支撑件上端施加的重力转移为对支撑件整体施加重力,从而使得整体的重心下移,提高了支撑件对去胶机支撑的稳固效果,同时提高了支撑件整体的支撑效果,加强的支撑件承受力。
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