[实用新型]一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜

说明书

本实用新型涉及半导体行业超高纯水终端处理设备技术领域，具体为一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜，包括原水箱以及反渗透元件，所述原水箱一端连接有增压泵，所述增压泵一端连接产水管，所述产水管一端连接过滤器，所述过滤器一端连接高压泵，所述高压泵一端连接高压管，所述反渗透元件一端设有进水接口，所述反渗透元件另一端设有纯水接口和浓水接口，所述纯水接口一端连接分离元件，所述分离元件一端连接UV消毒元件，所述UV消毒元件一端连接有纯水箱，通过设置的反渗透膜，替代以前工艺中终端UF的使用，来祛除水中的杂质，对供水微生物进行有效拦截，保证供水的安全，使得设备使用时更加的高效。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业超高纯水终端处理设备技术领域，具体为一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜。

背景技术

在半导体加工过程中需要使用水进行处理，该水质的要求非常高，不能含有任何离子杂质，通过前处理来达到进入终端的水质条件，终端通过抛光树脂满足电阻率、离子浓度的要求，通过脱气膜满足溶氧的要求，通过UV灯满足TOC的要求，通过终端超滤满足颗粒度的使用要求，终端超滤作为是终端最后道保障，因其本身的结构特点，在系统异常的情况下，不能控制整个水质指标，尤其对离子浓度和TOC的控制，此结果会造成整个产线的宕机，造成很大的损失。

由于终端超滤其本身的结构特点，只能截留公称截留分子量6000以上的颗粒物，对小于该分子量物质截留不了，在系统异常的情况下，不能保证出水水质，导致纯水质量较低，使用时效率不高，因此需要一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜来改变现状。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜,包括原水箱以及反渗透元件，所述原水箱一端连接有增压泵，所述增压泵一端连接产水管，所述产水管一端连接过滤器，所述过滤器一端连接高压泵，所述高压泵一端连接高压管，所述反渗透元件一端设有进水接口，所述反渗透元件另一端设有纯水接口和浓水接口，所述纯水接口一端连接分离元件，所述分离元件一端连接UV消毒元件，所述UV消毒元件一端连接有纯水箱，所述浓水接口一端连接回流管，所述反渗透元件内端设有浓溶液区、反渗透膜以及稀溶液区。

优选的，所述高压泵进水一端分别连接原水接口和浓水接口，所述高压泵出水一端通过高压管连接进水接口。

优选的，所述反渗透元件具体采用超低压大通量膜组件。

优选的，所述高压管采用SUS316L BA材质，所述产水管采用PVDF或CLPVC

优选的，所述纯水箱的出水口通过产水管连接终端进水口。

优选的，所述分离元件内端设有脱水膜组件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型中，通过设置的反渗透膜，由于反渗透膜是一种半透膜，其结构特点只允许水分子通过，几乎可以截留水中出水分子外的其他所有物质，所以在系统异常情况下，可以截留水中的离子、TOC以及颗粒物，本实用通过利用反渗透膜的结构特点，替代以前工艺中终端UF的使用，来祛除水中的杂质，对供水微生物进行有效拦截，保证供水的安全，使得设备使用时更加的高效。

2.本实用新型中，通过反渗透元件以及设置的回流管，能够充分提高运行反渗透和系统的抗负荷能力，避免频繁启停导致处理系统发生故障的现象发生，保证了出水正常，使供水更加的安全，使得设备使用时更加的安全。

3.本实用新型中，由于采用了反渗透膜设计，从而能够提高终端的使用寿命，减少膜体的频繁更换和维护，进而可以节约投资成本，使得设备使用时更加的方便。

附图说明