[实用新型]单体进料装置

权利要求书

1.一种单体进料装置，其特征在于，所述单体进料装置包括至少一储能单元、一工艺气体单元以及至少一单体存储单元，其中所述储能单元、所述工艺气体单元以及所述单体存储单元通过至少一第一三通接头分别连通。

2.根据权利要求1所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一管路单元，用于连通所述单体存储单元、所述工艺气体单元以及所述储能单元，所述管路单元包括一第一管路、一第二管路以及一第三管路，其中所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路的一端分别连接于所述第一三通接头，所述第一管路的另一端连通所述单体存储单元，所述第二管路的另一端连通所述工艺气体单元，所述第三管路的另一端连通所述储能单元。

3.根据权利要求2所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一开闭阀单元，以用于对所述工艺气体单元和所述单体存储单元进行开启或关闭，所述开闭阀单元包括至少一第一开闭阀，其中所述第一开闭阀被设置于所述第一管路并位于所述第一三通接头和所述单体存储单元之间，从而使所述单体存储单元能够通过所述第一开闭阀实现与所述储能单元之间的连通或关闭。

4.根据权利要求3所述的单体进料装置，其特征在于，所述开闭阀单元进一步包括至少一第二开闭阀，所述第二开闭阀被连接于所述第二管路并位于所述第一三通接头和所述工艺气体单元之间，从而使所述工艺气体单元能够通过所述第二开闭阀实现与所述储能单元之间的连通或关闭。

5.根据权利要求4所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一流量控制单元，以对所述第一管路和所述第二管路中的流量进行控制，其中所述流量控制单元包括至少一第一流量控制阀，所述第一流量控制阀被固定设置于所述第一三通接头的出口并位于所述第一管路，以控制从所述第一三通接头流向所述第一管路的气体流量。

6.根据权利要求5所述的单体进料装置，其特征在于，所述流量控制单元进一步包括至少一第二流量控制阀，所述第二流量控制阀被固定设置于所述第一三通接头的出口并位于所述第二管路，以控制从所述第一三通接头流向所述第二管路的气体流量。

7.根据权利要求5所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一调压阀，其中所述调压阀被固定设置于所述第二管路并位于所述第二开闭阀和所述工艺气体单元之间，以控制所述工艺气体单元至所述第二开闭阀之间的所述第二管路的压力。

8.根据权利要求7所述的单体进料装置，其特征在于，所述调压阀被设置为二级调压阀。

9.根据权利要求8所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一储能单元压力显示表，所述储能单元压力显示表连接于所述储能单元并靠近所述第一三通接头处以用于对所述储能单元的压力进行检测。

10.根据权利要求9所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一调压阀压力显示表，所述调压阀压力显示表连接于所述调压阀，以对所述调压阀的压力进行显示。

11.根据权利要求9所述的单体进料装置，其特征在于，所述单体存储单元包括至少一第一单体进料设备、一第二单体进料设备和一第三单体进料设备，所述第一单体进料设备、所述第二单体进料设备以及所述第三单体进料设备分别被连通于所述第一管路，且所述第一单体进料设备、所述第二单体进料设备以及所述第三单体进料设备能够通过所述第一管路实现单独或同时进料。