[实用新型]焊枪及焊接系统

说明书

本公开提供一种焊枪及焊接系统。焊枪包括第一周壁和多个喷嘴，多个喷嘴沿第一周壁的周圈布置，各喷嘴用于连通供给可燃气体的气源，各喷嘴的出口朝向第一周壁的中心。所述焊接系统包括所述焊枪。由于多个喷嘴沿第一周壁的周圈布置来用于焊接操作，相比现有技术中采用单个焊枪旋转进行焊接相比，显著地提高了焊接效率。

技术领域

本公开涉及焊接领域，具体地涉及一种焊枪及焊接系统。

背景技术

半导体衬底材料生产过程中，出于耐高温、洁净度、真空度等要求，往往会使用高纯石英管盛装热解氮化硼坩埚进行半导体单晶材料生产，以保证生产过程的密闭性、洁净度。由于空气中的氧气在高温下会严重氧化材料，因此需要首先使用真空泵在石英管内制造一个真空环境，因此需要在内部真空的条件下进行石英管的焊接。。相应地，如何将石英管进行密闭就成为关键点。

现有技术一般是使用焊枪进行手工焊接石英尾帽，焊接效率低下，并且人工焊接仅使用一个焊枪进行焊接，需要员工在焊接时不停转动焊枪位置。

于2020年1月7日公开的中国专利申请公开号为CN110655308A的专利文献公开了一种石英管立式焊接装置及方法，尽管其避免了人工转动焊枪，但其依然需要焊枪自动旋转来将石英管与石英尾帽焊接，焊接效率依然有待提高。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种焊枪及焊接系统，其能显著地提高工作效率。

为此，在一些实施例中，本公开提供一种焊枪，其包括第一周壁和多个喷嘴，多个喷嘴沿第一周壁的周圈布置，各喷嘴用于连通供给可燃气体的气源，各喷嘴的出口朝向第一周壁的中心。

在一些实施例中，所述多个喷嘴沿第一周壁的同一周圈布置，所述多个喷嘴的出口的中心线指向该同一周圈的中心。

在一些实施例中，所述多个喷嘴沿第一周壁的同一周圈等间隔布置。

在一些实施例中，本公开提供一种焊接系统，其包括所述焊枪。

在一些实施例中，焊接系统还包括旋转装置，旋转装置为步进式，旋转装置连接于焊枪的第一周壁，旋转装置能够带动焊枪的第一周壁围绕第一周壁的穿过中心的轴线旋转。

在一些实施例中，焊接系统还包括翻转装置，翻转装置连接于旋转装置，以使旋转装置能够在竖直平面内从竖直位置翻转到水平位置，在竖直位置时，第一周壁的开口朝上，在水平位置时，第一周壁的开口处于水平方向。

在一些实施例中，焊接系统还包括保温腔体，保温腔体能够加热，保温腔体用于收容石英管，石英管内收容有坩埚，坩埚内收容有用于物料。

在一些实施例中，焊接系统还包括传送装置，保温腔体具有出入口，传送装置设置在保温腔体内，传送装置的传送表面设置有隔热材料；传送装置用于：传送石英管穿过出入口而露出并供石英尾帽插入露出出入口的石英管的端部内，将插入石英尾帽的石英管的端部伸入焊枪以使多个喷嘴围绕插入石英尾帽的石英管的端部，以及将焊接完成的石英管连同石英尾帽回送至保温腔体内；焊枪设置成：在焊枪的多个喷嘴围绕插入石英尾帽的石英管的端部之后，将石英尾帽密封焊接在石英管的端部内。

在一些实施例中，焊接系统还包括检测装置，检测装置设置于保温腔体内，用于检测石英管的行进距离。

在一些实施例中，焊接系统还包括抽真空装置，抽真空装置用于对石英管内进行抽真空以及对石英尾帽密封焊接在石英管的端部内时对石英管的端部处进行抽真空。

本公开具有如下有益效果：由于多个喷嘴沿第一周壁的周圈布置来用于焊接操作，相比现有技术中采用单个焊枪旋转进行焊接相比，显著地提高了焊接效率。

附图说明

图1是根据本公开的焊接系统的一实施例的处于一状态的示意图，其中，焊枪处于开口向上的竖直状态。