[实用新型]一种节能退火炉

说明书

本申请涉及一种节能退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体上设置有排气管，所述排气管远离退火炉本体一端固设有存放室，排气管连通存放室和退火炉本体，所述存放室和退火炉本体之间设置有回流管，所述排气管和回流管上均安装有动力件。本申请具有通过将退火炉内的热气输送至存放室内保存，当退火炉需要再次使用时，将存放室内的热气送回退火炉，使退火炉内初温高于常温，减少退火炉加热所需的时间节约能源的效果。

技术领域

本申请涉及热处理设备的领域，尤其是涉及一种节能退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

针对上述中的相关技术，发明人认为退火炉在使用时会消耗大量能源。

实用新型内容

为了降低退火炉使用时的能源消耗，本申请提供一种节能退火炉。

本申请提供的一种节能退火炉采用如下的技术方案：

一种节能退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体上设置有排气管，所述排气管远离退火炉本体一端固设有存放室，排气管连通存放室和退火炉本体，所述存放室和退火炉本体之间设置有回流管，所述排气管和回流管上均安装有动力件。

通过采用上述技术方案，通过将退火炉内的热气输送至存放室内保存，当退火炉需要再次使用时，将存放室内的热气送回退火炉，使退火炉内初温高于常温，减少退火炉加热所需的时间节约能源。

可选的，存放室上设置有尾气排放管。

通过采用上述技术方案，尾气排放管能够将存放室内不使用的气体排出。

可选的，排气管上安装有过滤组件，过滤组件对退火炉本体内排出的气体进行过滤。

通过采用上述技术方案，过滤组件能够过滤退火炉排出的气体，减少有毒有害气体回流至退火炉，降低操作人员吸入有毒有害气体的概率。

可选的，滤组件包括了过滤盒和滤芯，所述过滤盒安装设置与排气管上，所述滤芯可拆卸插设在过滤盒上，滤芯覆盖分隔整个排气管。

通过采用上述技术方案，滤芯用于吸附有毒有害气体，后续通过更换滤芯以保证滤芯长期使用后的过滤效果。

可选的，存放室顶部设置有溢气管，所述溢气管上安装有压力阀。

通过采用上述技术方案，溢气管配合压力阀能够在存放室内气体过多压强较大时，将部分气体排出。

可选的，溢气管外侧罩设有集气罩，所述集气罩背离溢气管一侧固设有出气管，所述出气管远离集气罩一侧固设在尾气排放管上，出气管连通尾气排放管和集气罩。

通过采用上述技术方案，集气罩和出气管能够将溢气管排出的气体收集起来，降低溢气管溢出的气体对环境的影响。

可选的，存放室开设有清洗开口，所述清洗开口处铰接设置有封闭门。

通过采用上述技术方案，清洗开口的设置能够方便操作者开启存放室，对存放室进行定期的清洗。

可选的，存放室和封闭门的外侧均覆盖有一层隔热层。

通过采用上述技术方案，隔热层的设置能够降低存放室内热量的散失。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：