[实用新型]一种硅芯拉制冷却装置有效
申请号: | 202022038571.8 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN211897164U | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 金胜;薛建云;施红亮;邱风 | 申请(专利权)人: | 新疆登博新能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B28/10;C30B29/06 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 孟阿妮;张小勇 |
地址: | 830000 新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州昌吉市高新*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拉制 冷却 装置 | ||
本实用新型公开了一种硅芯拉制冷却装置,包括一号冷却板,所述一号冷却板的下方通过螺栓连接有二号冷却板,所述一号冷却板与所述二号冷却板之间通过滚动环滑动连接有三号冷却板,所述一号冷却板的中间位置及四周位置均贯穿设有一号硅芯拉制通道,所述一号硅芯拉制通道的外侧贯穿设有一号冷却通道,所述三号冷却板的中间位置及四周位置均贯穿设有弧形硅芯拉制通道,所述弧形硅芯拉制通道的外侧贯穿设有多级冷却通道,所述二号冷却板的中间位置及四周位置均贯穿设有二号硅芯拉制通道,所述二号硅芯拉制通道的外侧设有二号冷却通道,所述一号冷却板的右侧外表面设有冷却级别调节盘,可以根据室内温度的具体环境,对冷却速率进行调节。
技术领域
本实用新型涉及人工晶体技术领域,具体领域为一种硅芯拉制冷却装置。
背景技术
在硅芯制备过程中,一般使用籽晶进行引晶,待引晶完成后再进行硅芯的拉制,在此过程中,籽晶需要借助籽晶夹头夹持待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后,籽晶夹头带动籽晶下降,穿过高频线圈的拉制孔后插入原料棒上端的溶液内,随后通过籽晶夹头带动籽晶上升,籽晶带动溶液上升并重新结晶,最终形成所需长度的硅芯,在籽晶带着融液上升的过程中,当融液离开高频线圈的拉制孔后会逐渐冷却并重新结晶,此时带动籽晶上升的上轴的提升速度较慢,但在拉制硅芯的过程中由于每个吹气管的气体流量不可调节,因为每个吹气管所对应的拉制孔温度不一致,当吹气量一样时会导致新拉制的硅芯结晶速度不一致,影响硅芯质量,严重时还会导致部分硅芯报废等,且无法根据室内温度的具体环境,对吹气量进行调节,无法根据具体情况调节冷却速率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅芯拉制冷却装置,以解决上述背景技术中提出的在拉制硅芯的过程中由于每个吹气管的气体流量不可调节,因为每个吹气管所对应的拉制孔温度不一致,当吹气量一样时会导致新拉制的硅芯结晶速度不一致,影响硅芯质量,严重时还会导致部分硅芯报废等,且无法根据室内温度的具体环境,对吹气量进行调节,无法根据具体情况调节冷却速率的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅芯拉制冷却装置,包括一号冷却板,所述一号冷却板的下方通过螺栓连接有二号冷却板,所述一号冷却板与所述二号冷却板之间通过滚动环滑动连接有三号冷却板,所述一号冷却板的中间位置及四周位置均贯穿设有一号硅芯拉制通道,所述一号硅芯拉制通道的外侧贯穿设有一号冷却通道,所述一号冷却通道的上端通过螺纹连接有冷却喷口,所述一号冷却板的左内表面下侧设有限位卡簧,所述三号冷却板的外沿与所述滚动环连接,所述滚动环的侧表面与所述限位卡簧对应的位置设有限位槽,所述三号冷却板的中间位置及四周位置均贯穿设有弧形硅芯拉制通道,所述弧形硅芯拉制通道的外侧贯穿设有多级冷却通道,所述三号冷却板的右侧外表面设有贯穿一号冷却板的调节手把,所述二号冷却板的中间位置及四周位置均贯穿设有二号硅芯拉制通道,所述二号硅芯拉制通道的外侧设有二号冷却通道,所述二号冷却通道的外侧连通连接有总冷却通道,所述一号冷却板的右侧外表面设有冷却级别调节盘,所述调节手把的上表面设有与所述冷却级别调节盘适配的指针,所述冷却级别调节盘的前后两侧设有与所述调节手把适配的限位块。
优选的,所述一号硅芯拉制通道、弧形硅芯拉制通道及所述二号硅芯拉制通道共同组成硅芯拉制通道。
优选的,所述一号冷却通道、所述多级冷却通道、所述二号冷却通道及所述总冷却通道共同组成冷却通道。
优选的,所述滚动环包括滑动环,所述滑动环的上下表面均设有滚珠腔,所述一号冷却板的下表面和所述二号冷却板的上表面均设有滚珠罩,所述滚珠罩和滚珠腔之间滚动设有滚珠。
优选的,所述二号冷却板的下端设有冷却接口,所述冷却接口与所述总冷却通道连通连接。
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