[实用新型]一种用于pvd加工的挂具

说明书

本实用新型公开了一种用于pvd加工的挂具，涉及PVD挂具设备领域，包括固定杆，所述固定杆的顶端设置有挂钩，且固定杆的底端设置有螺纹杆，所述固定杆的外壁设置有固定套筒，且固定杆的外壁位于固定套筒的底端设置有支撑板。本实用新型通过设置挂杆、挂架、固定套筒、连接杆、限位槽，转动所有挂杆，使其与支撑板上的限位槽分离，挂杆向上转动时通过连接杆带动转动座在滑槽中上移，并与磁吸块相吸固定，从而使挂杆以及挂架被固定，此方式可将调节角度时多余的挂杆固定在支撑板的上方，然后将需要使用的挂杆向下转动卡合在支撑板上的限位槽中，则挂杆角度调节完成，有效解决了挂具无法根据工件尺寸调节挂架的角度的问题。

技术领域

本实用新型涉及PVD挂具设备领域，具体为一种用于pvd加工的挂具。

背景技术

PVD(物理气相沉积)镀膜中需要将镀膜工件悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜，目前，镀膜工艺广泛应用于光学、半导体等诸多领域，现有镀膜工艺通常以物理蒸镀法为主，其操作方法一般是将待镀膜工件洗净后置于一支撑机构上，送入镀膜机进行加热及抽真空，在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后，加热薄膜材料，以将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，并由蒸发源穿越空间，抵达待镀膜工件表面，在表面上沉积而逐渐形成薄膜。

目前的pvd挂具的挂架位置固定，无法根据工件的大小，进行角度调节，导致挂具无法适应其他工件的固定，且将工件挂在挂架上时，在移动时，工件容易掉落，导致工件的损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决挂具无法根据工件尺寸调节挂架的角度和工件容易从挂架上掉落的问题，提供一种用于pvd加工的挂具。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于pvd加工的挂具，包括固定杆，所述固定杆的顶端设置有挂钩，且固定杆的底端设置有螺纹杆，所述固定杆的外壁设置有固定套筒，且固定杆的外壁位于固定套筒的底端设置有支撑板，所述固定套筒的内侧设置有滑槽，所述滑槽的下方设置有活动槽，且滑槽的内侧设置有转动座，所述转动座的一侧设置有连接杆，所述连接杆的底端设置有挂杆，所述挂杆的一侧设置有挂架，所述挂架的顶端设置有弹簧，所述弹簧的顶端设置有卡板，所述卡板的一端设置有卡架。

优选地，所述固定套筒焊接在固定杆的外壁，所述螺纹杆的底端设置有延长杆。

优选地，所述固定杆与延长杆通过螺纹杆活动连接，所述连接杆与固定套筒、挂杆皆通过转动座转动连接。

优选地，所述支撑板上设置有限位槽，且挂杆与限位槽卡合连接。

优选地，所述弹簧焊接在挂架的顶端，且挂架焊接在挂杆的一侧。

优选地，所述卡架与挂杆卡合连接，所述卡架焊接在卡板的一端。

优选地，所述滑槽的数量为多个，且滑槽的内侧设置有磁吸块，所述活动槽与挂杆通过滑块活动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置挂杆、挂架、固定套筒、连接杆、限位槽，转动所有挂杆，使其与支撑板上的限位槽分离，挂杆向上转动时通过连接杆带动转动座在滑槽中上移，并与磁吸块相吸固定，从而使挂杆以及挂架被固定，此方式可将调节角度时多余的挂杆固定在支撑板的上方，然后将需要使用的挂杆向下转动卡合在支撑板上的限位槽中，则挂杆角度调节完成，有效解决了挂具无法根据工件尺寸调节挂架的角度的问题。

2、本实用新型通过设置卡板、卡架、挂架、挂杆、弹簧，若工件固定不稳，容易掉落，则将卡板带动卡架向挂杆一侧转动，且拉动卡板使带动弹簧向挂杆一侧拉伸，使其卡板一端的卡架与挂杆卡合，则在弹簧的拉力下，使卡板、卡架与挂杆卡合固定，从而可防止工件从挂架上掉落，有效解决了工件容易从挂架上掉落的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；