[实用新型]一种电化学表面处理装置

权利要求书

1.一种电化学表面处理装置，其特征在于，包括：

绝缘容器，所述绝缘容器内设有表面处理模块，所述表面处理模块包括第一表面处理单元，所述第一表面处理单元包括由上到下层叠设置的第一工作液层和第一保护液层，所述第一工作液层由第一工作液构成，所述第一保护液层由第一保护液构成；所述第一工作液层的厚度小于工件上待表面处理区域的高度，且所述第一工作液层与所述第一保护液层的厚度之和大于或等于所述工件上待表面处理区域的高度；

电源，所述电源具有正极和负极；所述正极用于与所述工件连接；

电极，所述电极分别与所述第一工作液层和所述电源的负极连接。

2.根据权利要求1所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述第一工作液和所述第一保护液不互溶，且所述第一工作液的密度小于所述第一保护液的密度；

或者，所述第一表面处理单元还包括由第一分隔液构成的第一分隔层，所述第一分隔层设于所述第一工作液层和所述第一保护液层之间，所述第一分隔液分别与所述第一工作液、所述第一保护液不互溶，所述第一工作液的密度小于所述第一分隔液的密度，且所述第一分隔液的密度小于所述第一保护液的密度。

3.根据权利要求1所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述第一保护液层的厚度大于或等于所述工件上待表面处理区域的高度。

4.根据权利要求1所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述第一表面处理单元用于对所述工件进行第一表面处理，所述第一表面处理为电解抛光、电镀、表面钝化中任一种。

5.根据权利要求4所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述第一表面处理为电解抛光，所述第一工作液为电解液，所述电解液选自氢氧化钾溶液、氢氧化钠溶液、酒石酸钠溶液、酒石酸钾溶液中的任一种；所述第一保护液为九氟丁基甲醚、四氯化碳或三氯乙烷。

6.根据权利要求1所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述表面处理模块还包括与所述第一表面处理单元层叠设置的第二表面处理单元，所述第二表面处理单元包括由上到下层叠设置的第二工作液层和第二保护液层，所述第二工作液层由第二工作液构成，所述第二保护液层由第二保护液构成。

7.根据权利要求6所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述第二表面处理单元中，所述第二工作液的密度小于所述第二保护液的密度；

或者，所述第二表面处理单元还包括由第二分隔液构成的第二分隔层，所述第二分隔层设于所述第二工作液层和所述第二保护液层之间，所述第二分隔液分别与所述第二工作液、所述第二保护液不互溶，所述第二工作液的密度小于所述第二分隔液的密度，所述第二分隔液的密度小于所述第二保护液的密度。

8.根据权利要求6所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述第二表面处理单元用于对工件进行第二表面处理，所述第二表面处理为电解抛光、电镀、表面钝化中任一种。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述电化学表面处理装置还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述工件沿Z轴方向运动，或者，沿X轴方向、Y轴方向中的至少一个方向和Z轴方向运动。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的电化学表面处理装置，其特征在于，所述电化学表面处理装置还包括电流表和/或电压表，所述电流表与所述电源串联，所述电压表与所述电源并联。