[实用新型]坩埚翻转涂刷平台装置

说明书

本实用新型提供了一种坩埚翻转涂刷平台装置，铰接在底座框架上的一对翻转油缸驱动铰接在翻转座上的翻转支撑架的翻转动作；翻转支撑架通过回转支承与旋转支撑架连接，固定连接在翻转支撑架上的驱动机构驱动回转支承外圈的转动，进而驱动旋转支撑架的旋转动作；旋转支撑架上的承载平台上设置有四个可径向滑动的滑块，四个滑块的左端在承载平台的左侧固定连接有相配合的四个夹紧板，其右端与四个支撑滑板固定连接，支撑滑板上设置有一对拉紧滑轮；安装在旋转支撑架上的两个夹紧油缸通过钢丝绳同步带动四个滑块的径向移动；承载平台的左侧面设置有多个万向支撑轮。该装置能方便快捷的实现坩埚的立起和翻转作业，能大幅度的降低操作人员的劳动负荷。

技术领域

本实用新型属于坩埚涂刷技术领域，具体涉及一种坩埚翻转涂刷平台装置。

背景技术

石英坩埚是多晶硅定向凝固技术中必不可少的容器，随着需求的增加，目前硅片尺寸逐渐增大至166mm，甚至达到了210mm，大尺寸硅片的生产对阻隔金属杂质侵入的高纯涂层有了更高的要求。为了防止杂质向硅熔体中扩散，需要在坩埚内表面对应硅液线以下的区域涂刷一层高纯石英涂层，因为坩埚呈四方形，在进行侧壁内表面涂刷时需要先将坩埚立起，然后再根据需要依次翻转进行四侧壁内表面的刷涂，传统的方式多采用人工进行坩埚的立起和翻转作业，这种方式不仅作业效率低，而且劳动负荷较大，且容易在翻转和立起作业过程中使坩埚发生损坏。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种坩埚翻转涂刷平台装置，该装置能方便快捷的实现坩埚的立起和翻转作业，能大幅度的降低操作人员的劳动负荷，并能避免在翻转和立起过程中使坩埚发生损坏。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种坩埚翻转涂刷平台装置，包括翻转机构和旋转机构，所述翻转机构包括底座框架、一对翻转油缸、一对翻转座和翻转支撑架；

所述一对翻转座前后间隔的固定连接在底座框架左端的上方；所述翻转支撑架的下部对应一对翻转座的部分具有一对延伸臂；一对延伸臂的下部通过销轴分别与一对翻转座的上端铰接；一对翻转油缸前后相间隔的设置在底座框架的上方，并与一对翻转座相对应的设置；一对翻转油缸的缸筒端分别与底座框架中部的前侧和后侧铰接，其活塞杆端分别与一对延伸臂的下端铰接；

所述旋转机构包括旋转支撑架、回转支承、驱动机构、四个滑块、四个夹紧板、两个夹紧油缸和牵引绳；所述旋转支撑架与翻转支撑架相平行的设置在翻转支撑架上部的左侧，旋转支撑架的左侧具有承载平台，承载平台遍布其左侧面的安装有多个万向支撑轮；所述回转支承设置在旋转支撑架和翻转支撑架之间，其外圈的左端与旋转支撑架的旋转中心固定连接，其内圈的右端与翻转支撑架的上端固定连接；回转支承外圈的外圆周具有外齿圈；所述驱动机构固定安装在翻转支撑架的上部，其输出轴上固定套装有位于回转支承外部一侧的驱动齿轮，驱动齿轮与外齿圈相啮合；所述旋转支撑架的右侧环绕其旋转中心的固定连接有四对径向导向梁，四对径向导向梁周向均匀的分布，且中心相互连通；每对径向导向梁之间形成径向延伸的导向滑道；在四对径向导向梁的中心可转动的连接有呈三角分布的三个导向滑轮；在承载平台的边沿对应四个导向滑道外端的部分开设有四个径向滑槽；四个滑块分别径向滑动的安装于四个径向滑槽中，且其左端位于承载平台的左侧，其右端位于承载平台的右侧；在每对径向导向梁的右端面的外端相对应的固定连接有一对导向滑板，每一对导向滑板的里端对应的固定连接有一对导向套，并于一对导向套的外侧部分滑动配合的设置有支撑滑板，所述支撑滑板的左端与滑块的右端固定连接；支撑滑板的里端对应一对导向套的固定连接有一对导向杆，且一对导向杆对应的滑动的插装于一对导向套中；支撑滑板的左侧可转动的连接有位于导向滑道中的一对拉紧滑轮；四个夹紧板对应四个滑块的设置在承载平台的左侧，且夹紧板的右端垂直的与滑块的左端固定连接；夹紧板的断面呈L型，且四个夹紧板的凹口均朝向旋转支撑架中心的设置；两个夹紧油缸分别径向的安装在相邻的两个导向滑道中，且夹紧油缸的活塞杆端均背离旋转支撑架旋转中心的设置；所述牵引绳的两端分别设置在两个夹紧油缸所在的导向滑道中，并分别与两个夹紧油缸的活塞杆端连接，其中段依次有序的绕设过四对拉紧滑轮和三个导向滑轮，用于在两个夹紧油缸的伸缩过程中同步带动四个滑块在四个径向滑槽中的径向滑动。