[实用新型]一种非机械扫描的结构光显微三维成像系统有效
| 申请号： | 202021928904.8 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN212229317U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李璐璐;刘乾;张辉;黄小津 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B26/10;G01N21/88 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机械扫描 结构 显微 三维 成像 系统 | ||
1.一种非机械扫描的结构光显微三维成像系统，其特征在于，包括光源(1)、透射式空间光调制器(2)、聚焦透镜(5)、液体透镜(6)、显微物镜(7)、CCD(9)；
所述透射式空间光调制器(2)用于接收光源(1)发出的光并将接收的光调制成结构光；
所述透射式空间光调制器(2)发出的结构光依次经过聚焦透镜(5)、液体透镜(6)和显微物镜(7)聚焦在样品(8)的表面；
所述样品(8)所反射的结构光依次经过显微物镜(7)、液体透镜(6)和聚焦透镜(5)成像在CCD(9)上。
2.根据权利要求1所述的一种非机械扫描的结构光显微三维成像系统，其特征在于，还包括偏振分光镜(3)和1/4波片(4)；
所述透射式空间光调制器(2)发出的结构光依次经过偏振分光镜(3)、1/4波片(4)、聚焦透镜(5)、液体透镜(6)和显微物镜(7)聚焦在样品(8)的表面；
所述样品(8)所反射的结构光依次经过显微物镜(7)、液体透镜(6)、聚焦透镜(5)、1/4波片(4)和偏振分光镜(3)成像在CCD(9)上。
3.根据权利要求1所述的一种非机械扫描的结构光显微三维成像系统，其特征在于，所述光源(1)为LED光源。
4.根据权利要求1所述的一种非机械扫描的结构光显微三维成像系统，其特征在于，所述透射式空间光调制器(2)的显示面和显微物镜焦面与CCD(9)的成像面均共轭。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种非机械扫描的结构光显微三维成像系统，其特征在于，所述透射式空间光调制器(2)发出的结构光包括正弦条纹、二维正弦条纹和同心圆条纹。
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