[实用新型]基板处理装置

说明书

本实用新型提供一种基板处理装置。在具有多个处理单元的基板处理装置中减少向各处理单元供给的清洁的空气的温度、湿度的单元间差异。一种基板处理装置，其具有多个处理基板的处理单元，其中，该基板处理装置具有向所述处理单元供给空气的多个管道，在各所述管道具有连结该管道和空气的供给源的连接管，所述多个管道连接有数量互不相同的所述处理单元，所述管道内的空气的流速和经由所述连接管向所述管道供给的空气的流速中的至少任一者在所述管道之间相等。

技术领域

本公开涉及一种基板处理装置。

背景技术

在专利文献1中公开有一种基板处理装置，该基板处理装置具有第1处理单元部和第2处理单元部在装置正面侧沿一方向并列设置而成的处理站。在第1处理单元部中，3层抗蚀剂涂敷处理单元和两层形成防反射膜的底涂敷单元从下方依次叠置成5层，在第2处理单元部中，显影处理单元叠置成5层。另外，在专利文献1的基板处理装置设置有两根用于向各处理单元部供给来自设置到装置外的空调机的清洁的空气的管道。经由管道所供给的空气被设置到处理站的上部的ULPA过滤器清洁化，以下降流向各处理单元供给。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-88485号公报

实用新型内容

实用新型要解决的问题

本公开的技术在具有多个处理单元的基板处理装置中减少向各处理单元供给的清洁的空气的温度、湿度的单元间差异。

用于解决问题的方案

(1)一种基板处理装置，其具有多个处理基板的处理单元，其中，

该基板处理装置具有向所述处理单元供给空气的多个管道，

在各所述管道具有连结该管道和空气的供给源的连接管，

所述多个管道连接有数量互不相同的所述处理单元，

所述管道内的空气的流速和经由所述连接管向所述管道供给的空气的流速中的至少任一者在所述管道之间相等。

根据所述(1)，能够在具有多个处理单元的基板处理装置中减少向各处理单元供给的清洁的空气的温度、湿度的单元间差异。

(2)根据所述(1)所述的基板处理装置，其中，

满足下述(A)和(B)的条件中的至少任一者，

(A)所述管道分别具有与空气向连接于该管道的所述处理单元的总流量相应的截面积；

(B)所述连接管分别具有与空气向同该连接管所连结的所述管道连接的所述处理单元的总流量相应的截面积。

(3)根据所述(1)或(2)所述的基板处理装置，其中，

所述管道由使在该管道内流动的空气相对于该管道的外侧的热绝热的绝热构件覆盖。

(4)根据所述(3)所述的基板处理装置，其中，

在所述管道与所述绝热构件之间形成有空气层。

(5)根据所述(1)～(4)中任一项所述的基板处理装置，其中，

该基板处理装置具有收纳所述处理单元的壳体。

(6)根据所述(5)所述的基板处理装置，其中，

该基板处理装置具有电气安装品，

所述电气安装品设置于所述壳体的上方的、与该壳体分离开的位置。

(7)根据所述(5)或(6)所述的基板处理装置，其中，