[实用新型]隔膜厚度在线检测装置

权利要求书

1.一种隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：包括隔膜跟随机构和全表面厚度检测机构；

所述隔膜跟随机构包括封闭的轨道（1），所述轨道（1）包括直线段；所述轨道（1）上设有负压吸引单元（2），且所述轨道（1）上设有用于驱动所述负压吸引单元（2）在所述直线段上以与隔膜相等的速率运动的跟随驱动机构；

所述负压吸引单元（2）包括负压吸引座（3），所述负压吸引座（3）的顶面设为利用负压使隔膜贴合的负压吸引面（4），所述负压吸引座（3）内设有负压吸引腔（5），所述负压吸引腔（5）与所述负压吸引面（4）之间阵列设有负压吸引孔（6）；

所述轨道（1）上与所述负压吸引单元（2）一一对应设有滑块（7），所述滑块（7）的顶面设有竖直套孔，所述负压吸引座（3）的底面设有与所述竖直套孔转动配合的转动套杆（8）；

所述全表面厚度检测机构包括设置在所述直线段上方的安装板（9）和设置在所述安装板（9）上方的基准板（10），所述安装板（9）上设有若干检测单元；所述检测单元包括与所述安装板（9）单自由度滑动配合的检测轴（11），所述检测轴（11）的下方设有用于与隔膜上表面贴合的滚轮（12），所述检测轴（11）的上方设有与所述基准板（10）配合的千分表（20）；所有的所述滚轮（12）的宽度之和大于等于隔膜的宽度，在平行于隔膜长度方向的视图方向上，相邻两个所述滚轮（12）之间部分重叠或相邻两个滚轮（12）之间的间距等于零。

2.根据权利要求1所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：所述跟随驱动机构包括传动辊和套装在所述传动辊上的传动带，所述滑块（7）与所述传动带固定连接；或所述跟随驱动机构包括链轮和与所述链轮配合的链条，所述滑块（7）与所述链条固定连接。

3.根据权利要求1所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：还包括用于对位于所述直线段上的所述负压吸引单元（2）提供负压的负压产生机构；所述负压产生机构包括负压座（13），所述负压座（13）面向所述直线段的一侧设有卡在所述负压吸引座（3）一侧的卡槽（14），所述卡槽（14）与所述负压吸引座（3）的顶面和底面之间分别设有密封胶垫（15）；所述负压座（13）内设有负压腔（16），所述负压吸引腔（5）的侧壁上开设有用于与所述负压腔（16）相连通的负压孔（17）。

4.根据权利要求3所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：所述直线段的两侧分别设有支撑架Ⅰ（18）和支撑架Ⅱ（19），所述负压座（13）固定安装在其中一个所述支撑架Ⅰ（18）上，且所述安装板（9）和基准板（10）的两侧分别安装在所述负压座（13）和另一个所述支撑架Ⅱ（19）上。

5.根据权利要求1所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：所述轨道（1）和滑块（7）之间设有燕尾结构。

6.根据权利要求1所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：所述检测单元在隔膜长度方向上等间距设置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：位于所述直线段上的相邻两个所述负压吸引座（3）接触配合，且位于所述直线段上的所有负压吸引座（3）的负压吸引面（4）平齐并位于同一个平面上。

8.根据权利要求7所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：所述轨道（1）包括相互平行的两条直线段，所述全表面厚度检测机构设置在其中一条所述直线段上，且该两条所述直线段的两端分别采用半圆弧段（）相连。

9.根据权利要求8所述的隔膜厚度在线检测装置，其特征在于：以所述轨道（1）围成的区域为内侧，相邻所述负压吸引座（3）的内侧铰接连接。