[实用新型]一种细胞多参数检测微纳传感器

权利要求书

1.一种细胞多参数检测微纳传感器，包括相互贴合的玻璃基片(1)与PDMS片(2)，所述PDMS片(2)的贴合面为开槽结构面，所述PDMS片(2)的贴合面开设流槽(7)，与所述玻璃基片(1)贴合后在玻璃基片(1)上面形成检测时供细胞溶液流经的流道，流槽(7)的两端分别开设打穿PDMS片(2)的通孔，形成进样孔(5)与出样孔(6)；其特征在于，所述流槽(7)中设置供细胞溶液流入并留置的开口围坝，所述开口围坝的开口朝向进样注入方向；所述玻璃基片(1)的贴合面上在所述开口围坝对应位置设置有2个以上分别用于检测传感不同参数的微型电极块，使所述各微型电极块位于所述开口围坝所占区域的下方，所述开口围坝与玻璃基片(1)之间保留检测时供试样流体与空气流过的高度间隙，该高度间隙小于待测细胞个体外径；各微型电极块各自设置Pt材质的引出线(4)。

2.如权利要求1所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述流槽(7)中的开口围坝的高度低于所述PDMS片(2)的贴合面，其高度差(h)作为PDMS片(2)与玻璃基片(1)贴合后的开口围坝与玻璃基片(1)之间的高度间隙。

3.如权利要求1所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述开口围坝为设有开口的呈C字形圆环的C型坝(8)；或者，所述开口围坝为一边开口的呈口字形方环的方型坝。

4.如权利要求3所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述C型坝(8)的开口宽度大于C型坝(8)的坝内半径；所述方型坝的开口宽度大于方型坝的开口边内侧边长的一半。

5.如权利要求1所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述流槽(7)在开口围坝所在处开设圆弧形凹口(16)。

6.如权利要求1所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述流槽(7)在PDMS片(2)上呈具有开口的矩形环状布置，以进样孔(5)与出样孔(6)为矩形环开口的2个端口；矩形环另外3边的流槽(7)中分别设置所述开口围坝。

7.如权利要求1所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述微型电极块包括温度检测电极块(3)、电导率检测电极块(13)、pH值检测电极块(14)，pH值检测电极块(14)还设置有与其对应的参比电极块(15)。

8.如权利要求7所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述温度检测电极块(3)与电导率检测电极块(13)包括先溅射在玻璃基片(1)上面的一层厚度为500a的Ti作为粘附层，与溅射厚度为1500a的Pt层，共同形成一层厚度为500/1500a的Ti/Pt 层(17)，并在Ti/Pt层(17)上面沉积一层厚度为5000a的Si₃N₄层(12)，作为绝缘层；所述pH值检测电极块(14)包括溅射在玻璃基片(1)上面的一层厚度为2500a的Ti层(18)；所述参比电极块(15)包括一层厚度为2500a的Ag/AgCl层(20)。

9.如权利要求7所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，所述各微型电极块还包括离子检测电极、ORP检测电极。

10.如权利要求7所述的细胞多参数检测微纳传感器，其特征在于，各微型电极块的引出线(4)的底端位于玻璃基片(1)的侧边缘；其中，所述温度检测电极块(3)呈Pt丝来回迂回折返的形状，温度检测电极块(3)的两端分别连接其2侧引出线(4)，温度检测电极块(3)位于其2侧引出线(4)的顶端。