[实用新型]一种涂布机台

权利要求书

1.一种涂布机台，其特征在于：包括机台架、转动安装在所述机台架上的转轴、设置在所述转轴上的承载盘和罩设在所述承载盘外侧的防护罩；所述承载盘上设置有用于吸附晶圆的真空吸附机构；所述防护罩上具有支撑部、横向延伸部和连接所述支撑部和所述横向延伸部的弧形连接部，所述支撑部倾斜角度范围为60°到90°，且所述防护罩的材质为铝。

2.根据权利要求1所述的涂布机台，其特征在于：所述防护罩的顶部设置有穿孔，所述穿孔的直径不小于320mm。

3.根据权利要求1所述的涂布机台，其特征在于：所述弧形连接部所在圆的直径不小于20mm。

4.根据权利要求1所述的涂布机台，其特征在于：所述涂布机台还具有设置在所述机台架上并位于所述承载盘下侧的防溢盖；所述防溢盖上具有横向支撑部、竖向支撑部、连接所述横向支撑部和所述竖向支撑部的斜向连接部和设置在所述横向支撑部上并与所述转轴相对设置的转孔，所述斜向连接部的倾斜角度不小于30°且不大于60°。

5.根据权利要求4所述的涂布机台，其特征在于：所述斜向连接部的倾斜角度为45°。

6.根据权利要求4所述的涂布机台，其特征在于：所述斜向连接部上设置有第一背洗针穿孔。

7.根据权利要求4所述的涂布机台，其特征在于：所述横向支撑部上设置有第二背洗针穿孔。

8.根据权利要求4所述的涂布机台，其特征在于：所述防溢盖上背离所述承载盘的一侧设置有若干定位槽。

9.根据权利要求8所述的涂布机台，其特征在于：所述定位槽设置有三个，三个所述定位槽呈环形均匀间隔排布。

10.根据权利要求4所述的涂布机台，其特征在于：所述横向支撑部上沿所述转孔的边沿设置有向所述承载盘的方向凸伸的环形支撑部。