[实用新型]一种光学器件镀膜料架装置

权利要求书

1.一种光学器件镀膜料架装置，包括底座平台，其特征在于，所述底座平台上设置有罩体，所述罩体内设置有通气管和料架放置座，所述通气管的下端穿过所述底座平台与外部含碳气源连通，所述料架放置座上放置有料架，所述罩体的壁上有抽气管穿过，所述抽气管的一端伸入所述罩体内，所述抽气管的另一端位于所述罩体外。

2.根据权利要求1所述的光学器件镀膜料架装置，其特征在于，所述罩体采用透明玻璃制作。

3.根据权利要求1或2所述的光学器件镀膜料架装置，其特征在于，所述罩体的下端设置有侧向延伸的裙边。

4.根据权利要求3所述的光学器件镀膜料架装置，其特征在于，所述底座平台上设置有用于将所述裙边压在所述底座平台上的压板。

5.根据权利要求1所述的光学器件镀膜料架装置，其特征在于，所述底座平台上设置有三根支柱，所述三根支柱的上端与所述料架放置座的底部固定在一起。