[实用新型]一种特殊气体全自动不间断供气设备

说明书

本实用新型公开了一种特殊气体全自动不间断供气设备，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；第一工艺气体供应模块和第二工艺气体供应模块用于供应特殊气体，并对工艺气体进行过滤、稳压处理；扫抽真空模块用于在更换钢瓶前将残留有害气体、颗粒物吹扫外置；高压测漏模块用于供气前对气路管道加压检测。本实用新型可实现左右钢瓶全自动无缝切换，根据系统的压力自动切换供气，保证气体供应不间断，还可实现远程控制紧急切断气体供应，以及管路吹扫抽真空和高压测漏的功能，本实用新型从安全第一的角度出发，在集中供应管理、方便操作、高纯度供应等方面都做到了兼顾。

技术领域

本实用新型涉及特殊气体供气技术领域，特别涉及一种特殊气体全自动不间断供气设备。

背景技术

随着社会的需求与国家政策扶持，直接推动新能源、材料、微电子、光伏、生物医疗等相关热点行业的发展，各类科研院所及大学实验室均不同程度的使用到用气设备，如：ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer，电感耦合等离子光谱发生仪)、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积)设备、镀膜机、燃烧炉、气象色谱仪等。这些设备除了用到氢气(H2)、乙炔(C2H2)、甲烷 (CH4)、乙烯(C2H4)、(SiH4)、磷烷(PH3)、氯气(Cl2)、三氯化硼(BCl3)、氯化氢(HCl)等易燃易爆或毒腐气体外，还会用到惰性气体，如氩气(Ar)、氮气(N2)、氦气(He)等。这类惰性气体本身是没有在的危险性的，但由于用气的设备比较特殊，所以对于所使用的气体要求也会相对特殊。

目前高校科研实验室、生产车间等在对非易燃易爆性且无毒性无腐蚀性气体的使用分配过程中，尚存在安全系数低、不方便扩展、管理操作危险的问题。

实用新型内容

为了解决现有高校科研实验室、生产车间等对特殊气体的供应和使用存在安全系数低、不方便扩展、管理操作危险的技术问题，本实用新型提出一种特殊气体全自动不间断供气设备，为科学实验保质保量的安全输送了各种特殊气体，操作简单、安全便捷，同时避免了非专业人员的误操作，还可以做到多点预留，方便日后的扩展。

具体地，本实用新型提出一种特殊气体全自动不间断供气设备，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；所述第一工艺气体供应模块包括连接第一进气管口并依次连接的第一过滤器、第一高压气动隔膜阀、调压阀、低压手动隔膜阀、限流开关、第二过滤器和阻火器，所述阻火器出口端连接第一出气管口；所述第二工艺气体供应模块包括连接第二进气管口并依次连接的第三过滤器和第二高压气动隔膜阀，所述第二高压气动隔膜阀出口端连接所述调压阀入口端；所述吹扫抽真空模块包括连接第三进气管口并依次连接的第一低压气动隔膜阀、第一单向阀和第三高压气动隔膜阀，连接所述第一低压气动隔膜阀出口端并依次连接的第二单向阀和第四高压气动隔膜阀，以及，连接所述调压阀出口端并依次连接的第二低压气动隔膜阀、第三单向阀和真空发生器，所述第三高压气动隔膜阀出口端连接所述第一进气管口，所述第四高压气动隔膜阀出口端连接所述第二进气管口，所述第三单向阀出口端连接所述真空发生器第一入口端，所述真空发生器出口端连接第二出气管口；所述高压测漏模块包括连接第四进气管口和所述第一单向阀入口端的第五高压气动隔膜阀，连接所述第一过滤器出口端和所述真空发生器第一入口端的第六高压气动隔膜阀，连接所述第三过滤器出口端和所述真空发生器第一入口端的第七高压气动隔膜阀，以及，连接所述第四进气管口和所述真空发生器第二入口端的第八高压气动隔膜阀。

进一步地，本实用新型提出的一种特殊气体全自动不间断供气设备还包括连接所述第一进气管口的第一压力传感器、连接所述调压阀出口端的第二压力传感器、连接所述第二进气管口的第三压力传感器和连接所述真空发生器第一入口端的第四压力传感器。

进一步地，所述第一过滤器和所述第三过滤器均为垫片式过滤器。

进一步地，所述第二过滤器为在线过滤器。