[实用新型]一种太赫兹量子级联激光器

权利要求书

1.一种太赫兹量子级联激光器，所述激光器包括半绝缘衬底(1)、下接触层(2)、下电极金属层(3)、有源区(4)、上接触层(5)、上电极金属层(6)、前端面(7)和后端面(8)；

其中所述半绝缘衬底(1)、下接触层(2)、有源区(4)、上接触层(5)和上电极金属层(6)从下至上依次层叠，所述有源区(4)、上接触层(5)和上电极金属层(6)在所述下接触层(2)上形成脊条形结构；下电极金属层(3)位于脊条形结构两侧，并保持间距；

所述前端面(7)和所述后端面(8)为所述激光器沿所述脊条形结构的长度方向的两个端面，所述前端面(7)和所述后端面(8)均用于透射输出激光，所述后端面(8)与所述脊条形结构的长度方向垂直；

其特征在于，所述前端面(7)包括第一斜面(71)和第二斜面(72)，斜面与所述脊条形结构长度方向的垂直面形成倾斜角(9)。

2.根据权利要求1所述激光器，其特征在于，所述后端面(8)为解理面，所述前端面(7)的第一斜面(71)和第二斜面(72)为机械抛光面。

3.根据权利要求1所述激光器，其特征在于，所述后端面(8)的表面为平面，上面交替设有介质和金属层。

4.根据权利要求1所述激光器，其特征在于，所述第一斜面(71)和第二斜面(72)为对称斜面。

5.根据权利要求1所述激光器，其特征在于，所述前端面(7)的两个斜面，第一斜面(71)和第二斜面(72)与所述脊条形结构的长度方向的垂直面形成角度相等的倾斜角(9)。

6.根据权利要求1所述激光器，其特征在于，所述倾斜角(9)小于所述激光器的有源区(4)的全反射临界角。

7.根据权利要求6所述激光器，其特征在于，所述全反射临界角为15°。

8.根据权利要求1所述激光器，其特征在于，所述倾斜角(9)均为12.6°。