[实用新型]铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置

权利要求书

1.一种铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置包括测量组件，所述测量组件包括第一支撑杆(1)、第一横杠(2)、第二横杠(11)、齿轮组件(14)、齿带(15)，第一测距传感器(3)、第二测距传感器(12)，所述第一横杠(2)、所述第二横杠(11)与所述第一支撑杆(1)连接，所述第一横杠(2)、所述第二横杠(11)能够沿所述第一支撑杆(1)垂直方向移动，所述齿轮组件(14)至少为两个，所述齿轮组件(14)沿着所述第一横杠(2)轴向方向同一平面固定设置，所述齿轮组件(14)沿着所述第二横杠(11)轴向方向同一平面固定设置，所述齿带(15)啮合套设在同一平面的所述齿轮组件(14)之间，所述第一测距传感器(3)垂直向下固定在所述齿带(15)上；所述第二测距传感器(12)垂直向上固定在所述齿带(15)上。

2.根据权利要求1所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述第一测距传感器(3)和所述第二测距传感器(12)在同一垂直待测薄膜(10)的直线上。

3.根据权利要求2所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述第一测距传感器(3)、所述第二测距传感器(12)包括红外线测距传感器。

4.根据权利要求1所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述第一横杠(2)、所述第二横杠(11)与所述第一支撑杆(1)连接的一端设置有能够驱动所述第一横杠(2)、所述第二横杠(11)沿所述第一支撑杆(1)运动的直线电机。

5.根据权利要求1所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述第一支撑杆(1)沿轴线方向上设置有标准刻度(13)。

6.根据权利要求1所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述齿轮组件(14)由电机驱动，所述第一测距传感器(3)能够沿所述第一横杠(2)方向直线运动、所述第二测距传感器(12)能够沿所述第二横杠(11)方向直线运动。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置还包括支撑组件，所述支撑组件包括第一支撑柱(4)、第二支撑柱(8)、第三支撑柱(5)、第四支撑柱(9)，所述第一支撑柱(4)、所述第二支撑柱(8)、第三支撑柱(5)、第四支撑柱(9)平行设置，所述第一支撑柱(4)、所述第二支撑柱(8)之间设有第一辊轴(6)，所述第一辊轴(6)能够通过轴承与所述第一支撑柱(4)、所述第二支撑柱(8)连接；所述第三支撑柱(5)、所述第四支撑柱(9)之间设有第二辊轴(7)，所述第二辊轴(7)能够通过轴承与所述第三支撑柱(5)、所述第四支撑柱(9)连接。

8.根据权利要求7所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述第一辊轴(6)、所述第二辊轴(7)轴线平行，所述第一辊轴(6)、所述第二辊轴(7)能够驱动待测薄膜(10)沿垂直所述第二辊轴(7)轴线方向运动。

9.根据权利要求7所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述第一辊轴(6)能够由驱动电机驱动。

10.根据权利要求1所述的铁基非晶合金薄膜裂纹检测装置，其特征在于，所述第一横杠(2)的轴线与所述第二横杠(11)的轴线平行设置。