[实用新型]一种钡钨阴极阴极激活设备有效

专利信息
申请号: 202021038024.3 申请日: 2020-06-08
公开(公告)号: CN212161748U 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 欧阳明亮 申请(专利权)人: 龙岩联弘新材料有限公司
主分类号: H01J9/12 分类号: H01J9/12;H01J61/073
代理公司: 福州科扬专利事务所 35001 代理人: 余榕榕
地址: 364100 福建省龙岩市*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 阴极 激活 设备
【权利要求书】:

1.一种钡钨阴极阴极激活设备,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的下端固定有支撑腿(4),且工作台(1)的上方设置有高频感应加热机(11),所述高频感应加热机(11)的一侧连接有高频线圈(14),所述支撑腿(4)的一侧固定有机械泵(5),所述机械泵(5)的一侧连接有分子泵(3),所述分子泵(3)的上端连接有真空管(13),所述真空管(13)的一端设置有固定组件(12)。

2.根据权利要求1所述的一种钡钨阴极阴极激活设备,其特征在于:所述高频感应加热机(11)的底端固定有滑动组件(10),所述滑动组件(10)包括驱动电机(101)、丝杆(102)、支撑板(103)、螺纹块(104)、滑块(105)和滑杆(106),其中,所述驱动电机(101)的输出端转动连接有丝杆(102),所述丝杆(102)的外周螺纹套接有螺纹块(104),所述螺纹块(104)的顶端固定有支撑板(103),所述支撑板(103)的下端固定有滑块(105),所述滑块(105)的内部贯穿有滑杆(106)。

3.根据权利要求2所述的一种钡钨阴极阴极激活设备,其特征在于:所述工作台(1)的上端固定有冷水箱(8),所述冷水箱(8)的一侧连通有增压泵(7),且冷水箱(8)远离增压泵(7)的一侧连接有软管二(6),所述增压泵(7)的一端连接有软管三(9),所述高频感应加热机(11)的一侧连接有软管一(2)。

4.根据权利要求3所述的一种钡钨阴极阴极激活设备,其特征在于:所述冷水箱(8)与增压泵(7)之间通过抽水管连接,且冷水箱(8)与分子泵(3)之间通过软管二(6)连通,所述增压泵(7)与高频感应加热机(11)之间通过软管三(9)连接,所述高频感应加热机(11)与分子泵(3)之间通过软管一(2)连接,所述软管三(9)与软管一(2)之间通过呈环形盘绕固定在高频感应加热机(11)内壁上的盘形管连通。

5.根据权利要求4所述的一种钡钨阴极阴极激活设备,其特征在于:所述固定组件(12)包括定位孔(121)、连接管(122)、固定杆(123)、伸缩弹簧(124)、固定套管(127)和卡杆(128),其中,所述连接管(122)的侧壁凿有定位孔(121),且连接管(122)的一端螺纹连接有固定套管(127),所述固定套管(127)的内部固定有固定杆(123),所述固定杆(123)的外周缠绕有伸缩弹簧(124),所述伸缩弹簧(124)的一端连接有卡杆(128)。

6.根据权利要求5所述的一种钡钨阴极阴极激活设备,其特征在于:所述固定杆(123)贯穿卡杆(128)的横杆一端,所述卡杆(128)两两之间通过伸缩弹簧(124)连接,且卡杆(128)的竖杆一端直径与定位孔(121)的直径大小相等,所述伸缩弹簧(124)处于自然状态时卡杆(128)的横杆侧边紧贴固定套管(127)的内壁。

7.根据权利要求6所述的一种钡钨阴极阴极激活设备,其特征在于:所述固定组件(12)还包括石英玻璃管(125)和密封环(126),所述固定套管(127)的一端固定有石英玻璃管(125),所述石英玻璃管(125)靠近固定套管(127)的一端粘接有密封环(126)。

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