[实用新型]一种可避免污染的气体加入系统

权利要求书

1.一种可避免污染的气体加入系统，其特征在于：所述的系统包括真空泵（1），所述真空泵同时与第一管路系统和第二管路系统相连，所述第一管路系统和第二管路系统的结构相同，

所述第一管路系统包括直接与真空泵（1）相连的第一管路（2），所述第一管路（2）上设置有第一电磁阀（3），第一管路（2）的末端同时与第二管路（4）、第三管路（5）和第四管路（6）相连通，所述第二管路（4）上设置有第二电磁阀（7），第三管路（5）上设置有第三电磁阀（8），第四管路（6）上设置有第四电磁阀（9），所述第四管路（6）上还连接有带有放空电磁阀（10）的放空管路（11），所述第一管路系统还包括与第一管路（2）相连的压力检测管路（12），所述压力检测管路（12）上设置有压力传感器（13）、第五电磁阀（14）和数显表（15），同时与压力检测管路（12）相并联的设置有机械表管路（16），所述机械表管路（16）上设置有第六电磁阀（17）和机械表（18），所述系统还包括与第一管路（2）相连的真空表（23）。

2.根据权利要求1所述的可避免污染的气体加入系统，其特征在于：所述第一管路系统或第二管路系统中，至少有一个系统中设置有辅助压力检测管路（19），所述辅助压力检测管路（19）上设置有辅助压力传感器（20）、第七电磁阀（21）和辅助数显表（22），且所述辅助压力传感器（20）和压力传感器（13）中一个为高压传感器，一个为低压传感器。