[实用新型]基于V型腔和环形腔的全固态准三能级228.5nm激光器

权利要求书

1.一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，沿光路方向依次包括：泵浦源、第一耦合光学系统、V型腔以及环形腔；

其中：所述V型腔包括：第一分臂、第二分臂以及第一分臂与第二分臂相交处的镜片M；所述第一分臂上设有激光晶体；所述第二分臂上依次设有镜片M2和LBO倍频晶体；

所述泵浦源发出泵浦光，经所述第一耦合光学系统进行整形；入射至所述激光晶体上产生光谱线；所述光谱线在所述V型腔内振荡，并经所述LBO倍频晶体进行二倍频处理，得到二倍频激光；所述二倍频激光输入至所述环形腔，在所述环形腔内进行谐振四倍频处理，输出228.5nm脉冲激光。

2.根据权利要求1所述的一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，还包括滤光整形组件，所述滤光整形组件设于所述V型腔与所述环形腔之间；

所述滤光整形组件沿光路方向依次包括：滤光片、反光片以及第二耦合光学系统，所述二倍频激光经所述滤光片滤除杂光，并经所述反光片调整光路传播方向后，射入所述第二耦合光学系统进行整形。

3.根据权利要求1所述的一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，所述第一分臂的长度为60mm～70mm，所述第二分臂的长度为30mm～35mm。

4.根据权利要求1所述的一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，所述激光晶体为Nd:YVO4激光晶体，所述Nd:YVO4激光晶体的尺寸为4×4×5mm³；

所述Nd:YVO4激光晶体的输入端面上镀有介质膜M1，其输出端面上镀有介质膜S2，所述介质膜M1的光学参数为AR@808nm1064nm，HR@914nm；所述介质膜S2的光学参数为AR@914nm1064nm1342nm。

5.根据权利要求1所述的一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，所述镜片M的直径为12.7mm，所述镜片M的入光面为凹面或平面，所述凹面的曲率半径为500mm、200mm、100mm或50mm；

所述镜片M的入光面和出射面上均镀有介质膜，入光面所镀介质膜的光学参数为10degHR@914nm，10degAR@1064nm1342457nm；出射面所镀介质膜的光学参数为10degAR@457nm914nm1064nm1342nm。

6.根据权利要求1所述的一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，所述镜片M2的直径为12.7mm，所述镜片M2的入光面为凹面或平面，所述凹面的曲率半径为600mm、300mm或200mm；

所述镜片M2的入光面和出射面上均镀有介质膜，入光面所镀介质膜的光学参数为：HR@914457nm，AR@10641342nm；出射面所镀介质膜的光学参数为：AR@457nm914nm1064nm1342nm。

7.根据权利要求1所述的一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，所述LBO倍频晶体的尺寸为4×4×15mm³，相位匹配角(θ,φ)＝(90,21.7)，所述LBO倍频晶体的两个端面均镀有介质膜，且两个端面所镀介质膜的光学参数均为AR@457nm914nm1064nm。

8.根据权利要求1所述的一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，所述环形腔包括镜片M3、镜片M4、镜片M5、镜片M6以及BBO倍频晶体，所述镜片M3与镜片M4以及所述镜片M5与镜片M6分别相对于同一竖直中心线镜像设置，所述BBO倍频晶体设于所述镜片M5与镜片M6之间；

所述镜片M3与所述镜片M4的间距为40～50mm；所述镜片M5与镜片M6的间距为70～90mm；所述镜片M3与镜片M5的间距为30mm。