[实用新型]晶圆搬送机构

说明书

本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆搬送机构，包括晶圆拾取部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置包括水平地连接于座体的第一导轨以及可滑动地连接于第一导轨的第一滑块，第二驱动装置包括竖直地连接于第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于第二导轨的第二滑块，晶圆拾取部件连接于第二滑块，第一驱动装置和第二驱动装置可驱动晶圆拾取部件在两个相互垂直的方向上运动，以自动地将晶圆从晶圆储存盘搬运至加工主轴，从而提高晶圆磨边机的加工效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种晶圆搬送机构。

背景技术

在某些集成电路的制造过程中，需要对晶圆的边缘进行打磨修整，一般采用晶圆磨边机对晶圆实施磨边加工。而现有的晶圆磨边机一般需要人工将晶圆从晶圆储存盘转移至加工主轴上，人工输送的不稳定性较高，这不利于提升晶圆的加工效率。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆搬送机构，以解决现有的晶圆磨边机需要人工输送晶圆而导致晶圆加工效率低的问题。

基于此，本实用新型提供了一种晶圆搬送机构，包括晶圆拾取部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置包括水平地连接于所述座体的第一导轨以及可滑动地连接于所述第一导轨的第一滑块，所述第二驱动装置包括竖直地连接于所述第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于所述第二导轨的第二滑块，所述晶圆拾取部件连接于所述第二滑块。

作为优选的，所述第二驱动装置还包括连接部件，所述连接部件包括垂直地相连接的第一连接板和第二连接板，所述第一连接板连接于所述第一滑块，所述第二连接板上设有所述第二导轨。

作为优选的，所述第一驱动装置还包括第一气缸，所述第一气缸的缸体设于所述座体，所述第一气缸的活塞连接于所述第一滑块。

作为优选的，所述第二驱动装置还包括第二气缸，所述第二气缸的缸体连接于所述第一滑块，所述第二气缸的活塞连接于所述晶圆拾取部件。

作为优选的，所述晶圆拾取部件和第二气缸分别位于所述第二导轨的两侧。

作为优选的，还包括安装部件，所述安装部件包括垂直地相连接的第一安装板和第二安装板，所述第一安装板连接于所述第二滑块，所述第二安装板上开设有安装孔，所述晶圆拾取部件的一端穿设于所述安装孔。

作为优选的，所述晶圆拾取部件为真空吸盘。

作为优选的，所述第一连接板上开设有减轻槽孔，所述减轻槽孔沿所述第一连接板的长度方向布置。

作为优选的，所述座体上设有一个或多个竖直设置的支撑架。

作为优选的，所述第一气缸为无杆气缸，所述第一气缸和第一导轨并列设置。

本实用新型的晶圆搬送机构，包括晶圆拾取部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置包括水平地连接于座体的第一导轨以及可滑动地连接于第一导轨的第一滑块，第二驱动装置包括竖直地连接于第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于第二导轨的第二滑块，晶圆拾取部件连接于第二滑块，第一驱动装置和第二驱动装置可驱动晶圆拾取部件在两个相互垂直的方向上运动，以自动地将晶圆从晶圆储存盘搬运至加工主轴，从而提高晶圆磨边机的加工效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的晶圆搬送机构的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例的晶圆搬送机构的正视示意图；

图3是本实用新型实施例的晶圆搬送机构的侧视示意图；

图4是本实用新型实施例的晶圆搬送机构的俯视示意图；

图5是本实用新型实施例的晶圆搬送机构的第二驱动装置的结构示意图。