[实用新型]一种可在线调节镀膜阴极挡板的装置有效
申请号: | 202020742166.1 | 申请日: | 2020-05-08 |
公开(公告)号: | CN212051632U | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 林嘉佑 | 申请(专利权)人: | 台玻太仓工程玻璃有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人: | 朱亮淞 |
地址: | 215400 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 在线 调节 镀膜 阴极 挡板 装置 | ||
本实用新型公开了一种可在线调节镀膜阴极挡板的装置,包括机架、阴极挡板和若干导杆;若干所述导杆平行间隔分布,且所述导杆的一端与机架连接,所述阴极挡板底面连接有导向套,所述导向套与导杆滑动连接;所述机架的两端连接有导轨,所述阴极挡板的两端连接有导向块,所述导向块与导轨滑动连接,所述机架连接有调节地脚。本实用新型所述的一种可在线调节镀膜阴极挡板的装置,能够调节阴极挡板之间的间距适应不同类型产品的生产。
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃加工设备,尤其涉及一种可在线调节镀膜阴极挡板的装置。
背景技术
目前使用磁控溅射平面靶阴极的档板间距是固定的,无法根据生产需求进行调整。生产低透过率的玻璃产品时,平面NiCr靶等材料时开口间距须要大于150mm,而当生产高透过率的玻璃产品时,平面NiCr靶等材料时开口间距必须小100mm。为了确保镀膜线能够同时生产不同透过率的类型产品,必须同时要备2倍或者3倍的平面NiCr靶等材料的阴极。如果增加阴极材料则会造成投资成本大、生产成本高以及增加了镀膜线的保养时间及工时。
发明内容
发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本实用新型提供一种可在线调节镀膜阴极挡板的装置,以适应多种类型玻璃的生产加工。
技术方案:为实现上述目的,本实用新型的一种可在线调节镀膜阴极挡板的装置,包括机架、阴极挡板和若干导杆;若干所述导杆平行间隔分布,且所述导杆的一端与机架连接,所述阴极挡板底面连接有导向套,所述导向套与导杆滑动连接;所述机架的两端连接有导轨,所述阴极挡板的两端连接有导向块,所述导向块与导轨滑动连接。
进一步地,还包括驱动机构;所述驱动机构包括电机和驱动杆,所述驱动杆的一端与电机的输出端通过链条驱动连接,所述驱动杆上连接有第一锥齿轮,所述导轨为螺杆,所述螺杆的一端连接有第二锥齿轮,所述第一锥齿轮和第二锥齿轮配合连接。
进一步地,所述导杆的外伸端可拆卸连接有挡块。
进一步地,所述机架的底端连接有调节地脚。
进一步地,所述调节地脚包括底座、转盘和连接盘;所述底座与安装面固定,所述转盘的底端与底座旋转连接,所述转盘的上部沿竖直方向设置有连接孔,所述连接盘的底部向下延伸设置有连接杆,所述连接杆与连接孔通过螺纹连接;所述连接盘与机架连接。
进一步地,所述转盘沿径向设置有辅助孔。
有益效果:本实用新型的一种可在线调节镀膜阴极挡板的装置,将在机架上设置导轨,使得阴极挡板与导轨形成滑动连接,驱动电机,即可实现阴极挡板的滑动,从而起到调节相邻阴极挡板间距的作用,能够适应多种类型的产品;同时在本装置的底部连接有调节地脚,能够保证阴极挡板的水平度。
附图说明
附图1为本实用新型的结构原理图;
附图2为本实用新型所述导杆端部的结构示意图;
附图3为本实用新型所述导杆端部的剖视图;
附图4为本实用新型所述调节地脚的结构示意图;
附图5为本实用新型所述的调节地脚的结构剖视图。
具体实施方式
下面结合附图1至5对本实用新型作更进一步的说明。
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