[实用新型]一种磷硼纸膜成型湿度调整装置

说明书

本实用新型公开了一种磷硼纸膜成型湿度调整装置，主要涉及磷硼纸膜生产成型设备技术领域，包括成型机架、喷射风筒架，喷射风筒架一端密封固定连接到成型机架，另一端连接到固定在成型机架的整流导风器上，雾化箱出口端通过喷射风扇连接到整流导风器，在喷射风筒架侧面设有等距分布的雾化喷头，喷射风筒架中间下部设有竖直的固定杆，固定杆底端安装连杆，连杆上安装有湿度传感器，连杆可以延伸成若干段，连杆内安装有湿度传感器，增大检测面积，喷射风扇通过整流导风器将雾化颗粒喷射到喷射风筒架内，通过喷射风筒架侧面等距分布的雾化喷头将雾化汽均匀的排放到成型内，使得增大喷雾的范围，使得雾气扩散开来，不容易发生碰撞。

技术领域

本实用新型主要涉及磷硼纸膜生产成型设备技术领域，具体是一种磷硼纸膜成型湿度调整装置。

背景技术

半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体薄膜主要是含有磷和硼的膜状扩散源，但是这种膜状扩散源的生产较为困难，目前没有公开的技术可以参考，现有生产中，磷硼纸膜在平辊上经过数次的喷涂形成的，在磷硼纸膜成型的过程中，既要干燥使得浆液成型，又要保持一定的湿度使得多层喷涂层粘合在一起，所以，急需一种湿度调整装置，来解决现有技术中湿度调整困难的问题。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本实用新型的目的在于提供一种磷硼纸膜成型湿度调整装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种磷硼纸膜成型湿度调整装置，其特征在于：包括成型机架，在所述成型机架内部上部设有喷射风筒架，所述喷射风筒架一端密封固定连接到成型机架，另一端连接到固定在成型机架的整流导风器上，雾化箱出口端通过喷射风扇连接到整流导风器，在所述喷射风筒架侧面设有等距分布的雾化喷头，所述喷射风筒架中间下部设有竖直的固定杆，所述固定杆底端安装连杆，所述连杆上安装有湿度传感器。

作为本实用新型的进一步改进，所述连杆可以延伸成若干段，增大检测面积。

作为本实用新型的进一步改进，所述湿度传感器通过传感线连接到雾化箱。

作为本实用新型的进一步改进，所述湿度传感器设置在成型机架内平辊的上平面。

作为本实用新型的进一步改进，在所述喷射风筒架侧面设有排气风扇。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：在本实用新型中，所述连杆可以延伸成若干段，连杆内安装有湿度传感器，增大检测面积，喷射风扇通过整流导风器将雾化颗粒喷射到喷射风筒架内，通过喷射风筒架侧面等距分布的雾化喷头将雾化汽均匀的排放到成型内，使得增大喷雾的范围，使得雾气扩散开来，不容易发生碰撞。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明：

图1为本实用新型一种磷硼纸膜成型湿度调整装置的结构示意图；

图中：1成型机架、2喷射风筒架、3雾化喷头、4整流导风器、5喷射风扇、6雾化箱、7排气风扇、8固定杆、9连杆、10湿度传感器。

具体实施方式

为了本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚明白，下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步的详细说明。