[实用新型]一种基于倒装结构的石墨烯高度计

权利要求书

1.一种基于倒装结构的石墨烯高度计，其特征在于，所述高度计包括：

封装外壳(10)以及设置在所述封装外壳(10)顶端的封装端盖(2)；

所述封装端盖(2)为中间带有通孔结构的板状结构，所述封装端盖(2)和封装外壳(10)共同界定一个容纳空间；

基板(29)，所述基板(29)设置在所述封装外壳(10)内侧的底部；

密封环(5、6)，所述密封环(5、6)水平设置在所述基板(29)上表面；

检测单元，所述检测单元设置在所述密封环(5、6)上，所述基板、密封环、检测单元共同构成了一个无氧腔(26)；

互连组件，所述互连组件一端与所述检测单元连接，所述互连组件另一端与外部连接导出检测单元中的电学响应。

2.根据权利要求1所述的石墨烯高度计，其特征在于，所述检测单元包括：纳米薄膜(1)、固定电极(24、25)和衬底(7)，所述衬底(7)设置在所述密封环(5、6)上，所述衬底(7)中心开设有倒梯形孔，所述梯形孔底部设置有膜片(12)，用于隔绝纳米薄膜(1)与外界的接触，所述纳米薄膜(1)贴合设置在所述膜片(12)底部，所述纳米薄膜(1)两端通过固定电极(24、25)固定连接在所述衬底(7)底部，所述基板(29)、衬底(7)及密封环(5、6)共同构成所述无氧腔(26)。

3.根据权利要求2所述的石墨烯高度计，其特征在于，所述纳米薄膜(1)由上层氮化硼层(22)、石墨烯层(23)、下层氮化硼层(21)组成，所述上层氮化硼层(22)、石墨烯层(23)、下层氮化硼层(21)由上至下顺次设置，所述固定电极(24、25)固定在所述衬底(7)下表面上并设置在所述纳米薄膜(1)两侧，所述固定电极(24、25)分别与所述石墨烯层(23)两端连接用于导出纳米薄膜(1)中的电学响应。

4.根据权利要求2所述的石墨烯高度计，其特征在于，所述固定电极(24、25)、密封环(5、6)与所述衬底(7)之间设置有阻挡层(17、18、19、20)。

5.根据权利要求2所述的石墨烯高度计，其特征在于，所述互连组件包括：内部互连凸点(3、4)，内置电极(27、28)，外部互连凸点(8、9)，引线(13、14)，内部互连焊盘(15、16)，引线柱(30、31)、外部互连焊盘(32、33)，所述内部互连凸点(3、4)，内置电极(27、28)，外部互连凸点(8、9)，引线(13、14)，内部互连焊盘(15、16)，引线柱(30、31)、外部互连焊盘(32、33)顺次连接。

6.根据权利要求5所述的石墨烯高度计，其特征在于，所述内部互连凸点(3、4)一端与所述固定电极(24、25)连接，所述内置电极(27、28)设置在所述基板(29)内并分别连接内部互连凸点(3、4)和外部互连凸点(8、9)，所述封装外壳(10)底部开设有安装所述引线柱(30、31)的安装孔，所述引线柱(30、31)设置在所述安装孔内，所述内部互连焊盘(15、16)与所述引线柱(30、31)位于封装外壳(10)内部一端连接，所述外部互连焊盘(32、33)设置在所述封装外壳(10)底部并与所述引线柱(30、31)位于封装外壳(10)外部一端连接，所述外部互连焊盘(32、33)连接外部检测组件用于传递纳米薄膜(1)对于高度信号的电学响应。