[实用新型]一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置

权利要求书

1.一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置，其特征在于，脆性材料基底的上表面镀有金属薄膜，所述金属薄膜的上面铺设单层致密排布的微球，所述脆性材料基底置于一工作台上；

激光器、扩束镜、光束整型器沿水平方向依次设置，扫描振镜、聚光透镜集工作台沿竖直方向从上至下依次设置；

激光器产生的激光依次通过扩束镜、光束整型器后经由反射镜反射到达扫描振镜以及聚焦透镜，再辐照到铺设有微球的镀有金属薄膜的脆性材料基底的上表面；计算机连接所述激光器及扫描振镜，所述计算机控制激光器产生的激光束的脉冲能量和重复频率。

2.根据权利要求1所述的脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置，其特征在于，所述的光束整型器的将能量呈高斯分布的激光束转换成能量均匀分布的激光束。

3.根据权利要求1所述的脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置，其特征在于，所述计算机控制扫描振镜的运动，以控制作用在脆性材料基底上的激光束在xy平面内移动轨迹和扫描速度。

4.根据权利要求1所述的脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置，其特征在于，所述脆性材料基底为非金属材料，具体为玻璃、蓝宝石、碳化硅、硅、砷化镓、氮化镓、金刚石、陶瓷和激光晶体材料的其中之一。

5.根据权利要求1所述的脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置，其特征在于，所述金属薄膜的材料为金、银、铜、铝、铂、钛其中之一或其合金，且所述金属薄膜的厚度介于10纳米至200纳米之间。

6.根据权利要求5所述的脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置，其特征在于，所述金属薄膜是由一层同种金属材料或一层金属合金材料或多层不同金属材料组成。