[实用新型]一种振板式超声波装置及振板式超声波清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种振板式超声波装置及振板式超声波清洗装置，该振板式超声波清洗装置包括清洗槽和振板式超声波装置，所述的振板式超声波装置包括依次相连的超声波电源、换能器、变幅杆和振板，所述的振板上设有用于放置待清洗件的第一开孔和紧固件，所述的紧固件将待清洗件与振板固定连接；所述换能器将电能转换成机械振动通过变幅杆驱动所述振板和待清洗件一体振动。本实用新型通过振板带动待清洗件高频机械振动，使待清洗件成为向清洗介质提供超声辐射的装置组成，有益于提高待清洗件清洗效果，实现待清洗件高效批量化清洗的目的。

技术领域

本实用新型涉及清洗技术领域，具体涉及一种振板式超声波清洗装置。

背景技术

超声波技术发展于二十世纪三十年代，目前已广泛应用于化学、医学、食品工业、制造工业、废水处理等方面。超声波清洗技术是利用超声波在液体介质中的空化效应对待清洗件表面进行清洗，其特点是清洗效率高、清洗效果好，且易于实现自动化，特别适用清洗件表面形状复杂的精细清洗(王志勇,飞机滤芯清洗工艺研究及设备研制[D].大连理工大学，2019.)。

目前超声清洗技术常用于清洗喷丝板、半导体产品、wafer晶圆、钟表和精密机械的零件、电子元器件、电路板组件等机械零部件(超声波特性参数对Wafer清洗效果的影响机理及实验研究[D].天津大学,2014.)。常规的带清洗槽式超声波清洗机，其特点是由若干个超声换能器置于清洗槽底部，自下而上超声对清洗槽内待清洗件进行清洗。因其超声功率密度小而难以对结构复杂的精密件起到高效的清洗效果，并且清洗液一般需选用强酸、强碱或强极性有机溶剂，产生大量的化学废液不利于环境保护，且增大操作安全风险。

专利CN203227628U发明了一种应用于纺丝行业喷丝板的聚能式超声波清洗装置，其清洗水槽上部设有低频大功率聚能式超声波清洗装置，可沿清洗水槽轴向作往复运动，同时在清洗水槽中设有与振头相对应的若干个超声波振盒，通过上下结合的方式提高清洗效果，但工作时需对单块喷丝板进行定位清洗以达到清洗效果，当装置同时清洗多块喷丝板时，聚能式超声波振头只能依次往复清洗，清洗时间较长。

因此亟需开发一种可以在提高清洗效果的同时，实现高效批量化清洗的超声波清洗装置。

实用新型内容

本实用新型提供了一种操作简单、效率高、清洗效果好的振板式超声波清洗装置，振板上开有若干放置待清洗件的开孔，待清洗件通过紧固件固定在超声波振板上，与振板在清洗液中同步超声振动以达到高效清洗的目的。

本实用新型解决上述技术问题所提供的技术方案为：

一种振板式超声波装置，包括换能器和与其相连的振板，所述的振板上设有用于放置待清洗件的第一开孔和紧固件，所述的紧固件将待清洗件与振板固定连接。

本实用新型通过紧固件，使待清洗件与振板实现硬连接，可确保待清洗件与振板一体以相同超声频率振动，使清洗效果明显提高。

所述的第一开孔的数量为单个或多个，可根据实际清洗需求设置单个或多组。第一开孔的尺寸、形状根据待清洗件尺寸、形状中的任意一种或多种。

所述的紧固件包括但不限于紧固板、紧固垫圈、紧固卡扣等组件和连接副。作为优选，所述的紧固件为紧固板。

所述紧固板上设有第二开孔，所述的第二开孔与第一开孔的位置对应。

所述的第二开孔的开孔尺寸根据待清洗件尺寸设置。

所述的振板与换能器通过变幅杆连接；所述的换能器通过高频线缆与超声波电源连接。

所述的的超声波电源采用扫频工作方式。

扫频工作方式可使清洗过程中超声频率在合理的范围内往复扫动，解决声场均匀性问题，使放置于振板各处的待清洗件振动更均匀，同时清洗液在扫频的作用下形成一股细小的回流，可及时把超声剥离下来的污物带离，从而达到更快速、更彻底的清洗效果。