[实用新型]一种热处理工艺的管式退火炉

说明书

本实用新型公开了一种热处理工艺的管式退火炉，包括炉体，炉体的一侧设置有热量回收装置，热量回收装置由出风管组成，炉体的一侧固定连接有风机，风机的进风端套接有抽风管，抽风管的一端贯穿炉体的顶部一侧，且抽风管的一端延伸至炉体的内腔中，风机的出风端套接有出风管，炉体的一侧设置有干燥箱，出风管的一端贯穿干燥箱的一侧延伸至干燥箱的内腔中，干燥箱的内壁上方固定卡接有滤网，滤网的顶部设置有干燥剂包，干燥箱的内壁下方两侧固定连接有固定块，两个固定块之间滑动连接有滑板。本实用新型通过干燥箱、干燥剂包和滑板的配合使用，实现了将退火炉内部产生的热量回收并对管材进行干燥的目的，降低了能量的损耗，提高了装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，特别涉及一种热处理工艺的管式退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。退火一般用于改善物质的塑性和韧性，同时将其软化，使化学成分均匀化，去除残与应力，退火工艺是将物质加热到一定温度，保持一定时间后，以一定的速度冷却。

退火过程中，退火炉内部会产生大量的热量，而当前的退火炉没有很好的热量回收装置，导致产生的热量大量散失，导致能量的损耗，不利于环保，而且在将工件放入炉膛前需要对较潮湿的工件预先烘干，而烘干工件需要消耗较多的能量，增大操作的成本。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种热处理工艺的管式退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热处理工艺的管式退火炉，所述炉体的一侧设置有热量回收装置，所述热量回收装置由出风管组成，所述炉体的一侧固定连接有风机，所述风机的进风端套接有抽风管，所述抽风管的一端贯穿炉体的顶部一侧，且所述抽风管的一端延伸至炉体的内腔中，所述风机的出风端套接有出风管，所述出风管的中部套接有单向阀，所述炉体的一侧设置有干燥箱，所述出风管的一端贯穿干燥箱延伸至干燥箱的内腔中，所述干燥箱的内壁上方固定卡接有滤网，所述滤网的顶部设置有干燥剂包，所述干燥箱的内壁下方两侧对称固定连接有固定块，两个所述固定块之间通过滑槽滑动连接有滑板，所述滑板的一端与干燥箱的一侧滑动穿插连接。

优选的，所述炉体的一侧固定连接有承载盒，所述承载盒的内壁一侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器传动连接有转杆，所述转杆的一端贯穿炉体的一侧延伸至炉腔的内部，且所述转杆的一端通过轴承与炉腔的内壁一侧转动连接，所述转杆的外壁固定套接有滚筒，所述滚筒的一侧设置有筒盖，所述筒盖的一侧设置有锁定机构，所述滚筒的内壁固定连接有防磨垫。

优选的，所述干燥箱的顶部一侧固定穿插连接有出气管。

优选的，所述炉体的内壁固定连接有耐火砖，所述炉体的内侧设置有炉腔，所述炉体与炉腔之间设置有保温层，所述炉腔的内壁中设有多个电热丝，多个所述电热丝等距间隔设置，多个所述电热丝通过外接开关与外部电源电性连接。

优选的，所述炉体的顶部一侧通过合页铰接有炉门，所述炉门的一侧固定连接有密封垫，所述炉体的底部固定连接有支撑座。

优选的，所述驱动电机通过外接开关与外部电源电性连接。

本实用新型的技术效果和优点：

（1）本实用新型通过干燥箱、干燥剂包和滑板的配合使用，实现了将退火炉内部产生的热量回收，并且用于对需要进行退火的管材进行干燥的目的，降低了能量的损耗，提高了装置的实用性；

（2）本实用新型通过滚筒的设置，将管材放入滚筒中进行转动，管材的受热更加均匀，从而提高了管材的退火效果。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图。

图2为本实用新型正面剖视结构示意图。