[实用新型]一种全柔性热释电红外探测器

权利要求书

1.一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：包括柔性红外辐射调制机构和柔性红外热释电敏感单元，所述柔性红外热释电敏感单元包括从上至下依次设置的绝缘层、上电极层、热释电敏感薄膜和下电极层；所述绝缘层上安装所述柔性红外辐射调制机构，所述柔性红外辐射调制机构包括1个或2个支撑柱和金属薄膜，金属薄膜安装在支撑柱上形成单端或双端悬臂梁；在所述悬臂梁的金属薄膜与柔性红外热释电敏感单元的上电极层通过电路开关连接有电压源，电路开关可通过开关控制电路加以控制；在悬臂梁的金属薄膜与柔性红外热释电敏感单元的上电极层之间施加一定频率和幅值的电压信号，悬臂梁的金属薄膜则可按相应频率在一定范围内上下运动，从而与柔性红外热释电敏感单元的绝缘层周期性地分离、接触，使入射的红外辐射产生的热流以周期性地传递到热释电敏感薄膜并引起其温度周期性变化。

2.根据权利要求1所述的一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：所述支撑柱可采用氧化硅、氮化硅、多晶硅无机材料，或聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷(PDMS)有机材料，或铝、镍、铬、铜、金、钛常见金属材料制备。

3.根据权利要求1或2所述的一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：所述单端悬臂梁还包括安装在绝缘层上的限位结构，用于限制悬臂梁的金属薄膜向上运动的上截点。

4.根据权利要求1所述的一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：悬臂梁的所述金属薄膜可采用铝、镍、铬、铜、金、钛常见易加工的金属材料制备。

5.根据权利要求1所述的一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：所述绝缘层可采用氧化硅、氮化硅、多晶硅无机材料，或聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷(PDMS)有机材料制备。

6.根据权利要求1所述的一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：所述热释电敏感薄膜可采用聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯-六氟丙烯、聚偏二氟乙烯－三氟乙烯、奇数尼龙、聚氯乙烯或聚丙烯的柔性热释电聚合物制备，或以柔性热释电聚合物为主体的掺杂体系，掺杂有钛酸锶钡、锆钛酸铅无机铁电陶瓷的掺杂体系。

7.根据权利要求1所述的一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：所述电路开关与开关控制电路可通过分离电路模块实现，也可通过集成电路方式实现。

8.根据权利要求1所述的一种全柔性热释电红外探测器，其特征在于：所述全柔性热释电红外探测器可根据需要自下而上部分或全部地采用柔性薄膜工艺和微加工工艺实现。