[实用新型]一种探针卡检测电路用工作台、固定机构和检测机构有效

专利信息
申请号: 202020368450.7 申请日: 2020-03-23
公开(公告)号: CN211856686U 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 赵梁玉;于海超;王艾琳 申请(专利权)人: 强一半导体(苏州)有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 探针 检测 电路 用工 固定 机构
【说明书】:

实用新型公开了一种探针卡检测电路用工作台,包括丝杠、工作台、固定机构和检测机构;固定机构包括第二电机、底板、卡块、动板、压块和竖杆;检测机构包括液压气缸、第一检测块、液晶显示屏、第一电机、固定杆、第二检测块、安装块、固定块、发光二极管、限位块、第三电机和检测器外壳。本实用新型结构设计合理,将探针卡放置在动板上,卡块卡在探针卡上固定探针卡的位置,探针卡和动板转动便于对探针卡检测,固定机构与探针卡接触面积小,固定效果好;本实用新型结构设计紧凑,选择第一检测块或第二检测块检测,安装块与探针卡之间的距离可调,液压气缸带动第一检测块或第二检测块下移对探针卡逐步检测,检测较为全面,且结果较为精确。

技术领域

本实用新型涉及一种检测结构,具体是一种探针卡检测电路用工作台,属于检测装置应用技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号对芯片参数进行测试,是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触,引出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前,针对裸晶系以探针做功能测试,筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此,探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

探针卡放置在工作台上检测时需要采用固定结构限定位置,固定结构与探针卡接触面积过大影响检测效果,接触面积较小固定效果不足,且对探针卡检测时无法根据探针卡的形状不同选择不同的检测块,检测不够全面,结果不够精准。因此,针对上述问题提出一种探针卡检测电路用工作台。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针卡检测电路用工作台。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,包括丝杠、工作台、固定机构和检测机构;

所述固定机构包括第二电机、动板和竖杆,所述工作台底部固接有第二电机,所述第二电机的输出轴贯穿工作台后固接在动板底部,所述动板两侧均固接有竖杆,所述竖杆一侧安装有压块;

所述检测机构包括丝杠、固定杆和检测器外壳,所述固定杆固接在工作台上,所述固定杆内腔固接有第一电机,所述第一电机顶部固接有固定块,所述固定块固接在检测器外壳下方,所述检测器外壳内腔顶部固接有两个丝杠,两个所述丝杠上分别安装有第一检测块和第二检测块。

优选的,所述第一检测块和第二检测块顶部均安装有安装块,所述安装块内腔固接有液压气缸,所述安装块顶部被丝杠贯穿,所述安装块与丝杠之间滑动连接。

优选的,所述丝杠贯穿检测器外壳的一端固接有限位块,且所述丝杠另一端固接有第三电机,所述第三电机固接在检测器外壳内腔顶部,所述第三电机下方固接有液晶显示屏。

优选的,所述第一检测块和第二检测块一侧均固接有发光,且所述第一检测块底部固接的探针呈环形排列,所述第二检测块底部固接的探针呈矩形排列。

优选的,所述压块底部通过转轴固接有卡块,所述卡块与压块之间转动连接,所述动板呈圆形卡合在底板顶部,所述底板为矩形固接在工作台顶部,且所述底板两侧均固接有固定杆。

一种探针卡检测电路用工作台用固定机构,包括第二电机、动板和竖杆,所述工作台底部固接有第二电机,所述第二电机的输出轴贯穿工作台后固接在动板底部,所述动板两侧均固接有竖杆,所述竖杆一侧安装有压块。

一种探针卡检测电路用工作台用检测机构,包括丝杠、固定杆和检测器外壳,所述固定杆固接在工作台上,所述固定杆内腔固接有第一电机,所述第一电机顶部固接有固定块,所述固定块固接在检测器外壳下方,所述检测器外壳内腔顶部固接有两个丝杠,两个所述丝杠上分别安装有第一检测块和第二检测块。

本实用新型的有益效果是:

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