[实用新型]一种大通量的移载真空切换阀机构

权利要求书

1.一种大通量的移载真空切换阀机构，包括阀体主件(1)，其特征在于：所述阀体主件(1)内左侧开有气室一(13)，所述阀体主件(1)内右侧开有气室二(14)，所述阀体主件(1)顶部左侧设有风口一(2)，所述阀体主件(1)顶部右侧设有风口二(3)，所述阀体主件(1)底部设有风口三(4)，所述阀体主件(1)左侧开有风口四(7)，所述阀体主件(1)左侧设有气缸一(5)，所述气缸一(5)通过端座一(8)与阀体主件(1)左侧相连接，所述气缸一(5)输出端连接有阀片一(9)，所述阀体主件(1)右侧开有风口五(15)，所述阀体主件(1)右侧设有气缸二(6)，所述气缸二(6)通过端座二(11)与阀体主件(1)右侧相连接，所述气缸二(6)输出端连接有阀片二(12)。

2.根据权利要求1所述的一种大通量的移载真空切换阀机构，其特征在于：所述风口一(2)包括气管接头一(22)，所述气管接头一(22)底部固定连接有安装板一(21)，所述安装板一(21)与阀体主件(1)顶部相连接。

3.根据权利要求1所述的一种大通量的移载真空切换阀机构，其特征在于：所述风口二(3)包括气管接头二(32)，所述气管接头二(32)底部固定连接有安装板二(31)，所述安装板二(31)与阀体主件(1)顶部相连接。

4.根据权利要求1所述的一种大通量的移载真空切换阀机构，其特征在于：所述风口三(4)包括气管接头三(42)，所述气管接头三(42)顶部固定连接有安装板三(41)，所述安装板三(41)与阀体主件(1)底部相连接，所述风口三(4)通过过滤器与外部真空吸盘相连接。

5.根据权利要求1所述的一种大通量的移载真空切换阀机构，其特征在于：所述气室一(13)与风口一(2)、风口三(4)和风口四(7)相连通。

6.根据权利要求1所述的一种大通量的移载真空切换阀机构，其特征在于：所述气室二(14)与风口二(3)、风口三(4)和风口五(15)相连通。

7.根据权利要求1所述的一种大通量的移载真空切换阀机构，其特征在于：所述端座一(8)和端座二(11)内侧均固定连接有阀片固定件(10)。