[实用新型]一种双级混合气冷罗茨真空机组

权利要求书

1.一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：包括电机(2)、罗茨泵、冷凝器、排气管道、返气管道和阀门(30)，所述罗茨泵包括中壁(5)及位于中壁(5)两端的一级泵(4)和二级泵(6)，一级泵(4)和二级泵(6)上均设有排气口和冷气返气口，电机输出轴与伸出一级泵(4)端部的主轴通过联轴器(3)相连；

冷凝器包括一级冷凝器和二级冷凝器，所述一级冷凝器和二级冷凝器均包括壳程和套设于壳程内的管程；

一级泵排气口(21)通过一级排气管道(11)连接至一级冷凝器壳程(7)，一级冷凝器壳程(7)通过一级返气管道(14)分别连接至一级泵冷气返气口和二级泵第一冷气返气口(26)，二级泵排气口(25)通过二级排气管道(12)连接至二级冷凝器壳程(9)，二级冷凝器壳程(9)通过二级返气管道(13)分别连接至二级泵第二冷气返气口(27)和一级冷凝器壳程(7)，与一级冷凝器壳程(7)连接的二级返气管道支路与一级冷凝器壳程(7)之间安装阀门(30)。

2.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述阀门(30)为逆止阀。

3.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述中壁(5)上设有连接一级泵(4)和二级泵(6)腔体的气体通道。

4.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述一级泵(4)和二级泵(6)外部设有联通一级泵和二级泵腔体的气体通道。

5.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述一级冷凝器和二级冷凝器相互独立。

6.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：一级冷凝器壳程(7)和二级冷凝器壳程(9)相互独立，一级冷凝器管程(8)和二级冷凝器管程(10)相互贯通。

7.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述一级泵冷气返气口为两个，分别对称分布于一级泵(4)两侧。

8.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：还包括机架(1)，所述机架(1)为长方体框架结构，机架(1)顶部依次安装电机(2)、联轴器(3)和罗茨泵，机架(1)框架内与一级泵(4)和二级泵(6)对应位置处分别设置一级冷凝器和二级冷凝器。

9.根据权利要求1所述的一种双级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：一级冷凝器壳程(7)和二级冷凝器壳程(9)通过法兰(31)连接。