[实用新型]一种高效多晶硅锭铸锭炉有效
申请号: | 202020222514.2 | 申请日: | 2020-02-27 |
公开(公告)号: | CN211872144U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 黄贤强 | 申请(专利权)人: | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314302 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 多晶 铸锭 | ||
1.一种高效多晶硅锭铸锭炉,包括机座,其特征在于,所述机座上通过支架固定有上炉体,机座上水平固定有轨道,轨道上设置有滑座,滑座与一能驱动其来回移动的驱动结构相连,滑座两端均活动设置有升降框,升降框分别与一能带动其上下移动的移动组件相连,升降框上分别固定有下炉体,且任意一个下炉体均能与上炉体组合形成一个完整的炉体,机座上还设置有吹扫机构,吹扫机构包括安装框和气泵,安装框固定在支架上,安装框两端均水平固定有吹扫管,吹扫管上具有若干出气孔,且出气孔朝下,吹扫管分别通过联接管端部相连通,联接管端部还分别设置有电磁阀,联接管中部和气泵相连,气泵固定在机座上。
2.根据权利要求1所述的高效多晶硅锭铸锭炉,其特征在于,所述驱动结构包括驱动电机、齿条和齿轮,齿条水平固定在机座上,且齿条与轨道相互平行,驱动电机固定在滑座中部,驱动电机的输出轴水平设置,齿轮与齿条相啮合。
3.根据权利要求1所述的高效多晶硅锭铸锭炉,其特征在于,所述机座两端均具有限位块,滑座中部具有调控杆,且调控杆能与限位块相接触。
4.根据权利要求2所述的高效多晶硅锭铸锭炉,其特征在于,所述移动组件包括导杆、导块和推动气缸,导杆竖直固定在滑座端部,导块设置在导杆上,推动气缸固定在滑座端部,推动气缸的活塞杆竖直向上,导块和推动气缸的活塞杆端部相连,下炉体和导块相连。
5.根据权利要求4所述的高效多晶硅锭铸锭炉,其特征在于,所述机座上固定有操作面板,电磁阀、气泵、驱动电机和推动气缸均与该操作面板相连。
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