[实用新型]一种差分电桥式电涡流位移传感器

权利要求书

1.一种差分电桥式电涡流位移传感器，其特征在于：所述的差分电桥式电涡位移流传感器包括信号处理装置、一组差分同轴电缆和一组差分涡流检测探头；所述的涡流检测探头内部只包含一个检测线圈；所述的信号处理装置包括激励信号驱动电路、平衡电桥电路和信号解调电路；激励信号驱动电路产生交流激励通过差分同轴线分别进入差分检测线圈，在检测线圈周围产生交变磁场，处在交变磁场范围里面的被测导体将感应出涡流；导体中的涡流产生与线圈磁场方向相反的磁场，线圈磁场和涡流磁场的相互作用，改变探测线圈的阻抗；当距离改变时，线圈与目标导体的磁场耦合强度发生改变，线圈的阻抗随之改变；线圈阻抗改变导致平衡电桥的差分输出电压改变；差分电压先通过差分放大器放大，再经反向开关解调，最后经仪器放大器放大，可得到反应位移变化的模拟电压信号。

2.根据权利要求1所述的一种差分电桥式电涡流位移传感器，其特征在于：所述的差分涡流检测探头内部只包含一个检测线圈，没有温度补偿线圈；所述的检测线圈与探测面平行，检测线圈通过同轴线连接信号处理装置。

3.根据权利要求1所述的一种差分电桥式电涡流位移传感器，其特征在于：所述的平衡电桥电路由检测桥臂和采样桥臂组成，检测桥臂由探头内的检测线圈和电容并联组成，采样桥臂只有固定电阻。

4.根据权利要求1所述的一种差分电桥式电涡流位移传感器，其特征在于：所述的激励信号驱动电路由晶振、低压差稳压器、反相器、移位寄存器、二进制计数器组成；晶振产生超高频矩形波，经过6路反相器、二级制计数器、移位寄存器分频，产生高频的激励矩形波和解调矩形波；激励矩形波作为交流激励信号输出给探头；解调矩形波解调平衡电桥的输出信号可得到检测输出信号。

5.根据权利要求1所述的一种差分电桥式电涡流位移传感器，其特征在于：所述的一组差分涡流检测探头可以根据被测目标移动方向的不同，对应配置为多组差分探头和信号处理电路。