[实用新型]真空烧结炉

说明书

本申请公开了一种真空烧结炉。该真空烧结炉包括：炉膛和设于所述炉膛内的炉胆，其中：所述炉胆与炉膛之间设置有间隙，所述炉胆包括外框架和置于所述外框架内的发热体，所述外框架下部设有开孔；所述炉膛内设置由耐高温材料制成的接料件，所述接料件位于开孔正下方。本申请解决了多次烧结后易造成炉胆内的碳毡堵塞，从而导致炉体内真空度不稳，导致烧结产品有色差，炉胆使用寿命缩短的问题。

技术领域

本申请涉及烧结炉领域，具体而言，涉及一种真空烧结炉。

背景技术

烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。真空烧结炉内部通常是由加热部分和隔热保温两部分组成的烧结区。加热形式有电热元件(如碳管、碳棒)加热、中频感应加热两种。炉子的冷却采用水夹套冷却。为了加速冷却，可向炉内通入氢、氮、氩等气体。

炉胆作为烧结炉中的重要结构，在烧制产品时，会产生大量的碳含量与固含量排出，烧结的炉次越多产生的碳含量与固含量越多，由于炉胆内设置有作为隔热层的碳毡，多次烧结后易造成炉胆内的碳毡堵塞，堵塞的同时会造成炉体内真空度不稳，影响烧结炉温发热不均匀，引起导电打火现象，造成烧结出炉后的产品有色差，影响炉体保温性能造成产品料生，炉胆使用寿命缩短。

针对相关技术中多次烧结后易造成炉胆内的碳毡堵塞，从而导致炉体内真空度不稳，导致烧结产品有色差，炉胆使用寿命缩短的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本申请的主要目的在于提供一种真空烧结炉，以解决相关技术中多次烧结后易造成炉胆内的碳毡堵塞，从而导致炉体内真空度不稳，导致烧结产品有色差，炉胆使用寿命缩短的问题。

为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种真空烧结炉。

根据本申请的真空烧结炉包括：炉膛和设于所述炉膛内的炉胆，其中：所述炉胆与炉膛之间设置有间隙，所述炉胆包括外框架和置于所述外框架内的发热体，所述外框架下部设有开孔；所述炉膛内设置由耐高温材料制成的接料件，所述接料件位于开孔正下方。

进一步的，炉膛设置为圆形，所述炉胆设置为方形，所述炉胆的左右两端均设置有连接件，所述连接件与炉膛内壁固定连接。

进一步的，炉膛内壁纵向设置有支撑件，所述支撑件上端与炉胆下底面连接。

进一步的，接料件包括固定设置在炉膛内壁的支撑柱，所述支撑柱上端设置有支撑盘，所述支撑盘上端设置有碳毡。

进一步的，支撑柱设置为三个并呈品字形分布，所述碳毡置于所述支撑盘上端。

进一步的，发热体沿外框架内部空间均匀分布。

进一步的，发热体由石墨棒组成，所述炉胆下内壁沿轴向设置有支撑条，所述支撑条设置为两个并对称分布。

在本申请实施例中，采用在炉胆下部开孔的方式，通过使炉胆与炉膛之间设置间隙，炉胆的外框架下部设有开孔，然后在炉膛内壁设置接料件，并使接料件位于开孔的正下方，将炉胆内烧结过程中产生的碳含量和固含量从开孔排出，并通过开孔下方的接料件承接，达到了降低炉胆内的碳含量和固含量的目的，并且避免了炉胆内碳毡堵塞而导致造成炉体内真空度不稳的问题，从而实现了使烧结炉温度发热均匀，提高炉胆使用寿命，提高产品生产效率，提高产品品质的技术效果，进而解决由于相关技术中多次烧结后易造成炉胆内的碳毡堵塞，从而造成导致炉体内真空度不稳，导致烧结产品有色差，炉胆使用寿命缩短的问题。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：