[实用新型]一种整卷织物的等离子体处理设备

说明书

本实用新型公开了一种用于整卷织物的等离子体处理设备，所述设备包括：离子体发生单元、抽真空单元及结构单元。等离子体发生单元包括正极单元和负极单元，正极单元设置于整卷织物的内部，负极单元设置于整卷织物的外部，抽真空单元包括真空泵和真空快卸连接器，抽真空单元设置于所述负极单元底部，所述结构单元包括腔盖、压紧绝缘板、锁紧螺栓、挡圈，结构单元设置于正极单元各组件之间，起连接和紧固作用。在所述设备中，通过真空泵在设备内营造出一种稳定的低压环境，整卷织物在正极单元和负极单元之间，正极单元和负极单元通过辉光放电产生等离子体，从整卷织物孔隙间穿过，在保证处理质量的同时，大大提升处理效率。

技术领域

本申请/实用新型涉及等离子体处理的技术领域，具体地说是一种整卷织物的等离子体处理设备。

背景技术

随着高性能结构材料技术和先进材料加工技术的快速发展，人们对材料的韧性和刚性、环保性、循环利用性和使用寿命等提出了更高的要求。因此通过对材料表面处理改变材料表面的形态、化学成分、组织结构等以提高材料各方面性能在今年来得到了迅速发展。在物理处理、化学处理和机械处理等众多表面处理方法中，等离子体表面处理技术因其清洁高效、能耗低、无废弃物等优点而快速发展。目前，针对不同的产业应用，不同条件下的等离子体处理已经出现明显分工，需要连续处理的大面积天然或合成材料一般采用常压等离子体进行处理，半导体、生物医用材料等一般采用低压等离子体进行处理。

由于传统的“湿法”织物处理工艺温度高、时间长、劳动强度大，并伴有一定的化学污染，功效较低。现代工艺采用“干法”的等离子体处理技术，将织物或纤维表面与等离子体相互作用，达到织物表面的清洁和活化作用，从而大大提高织物的吸湿性和其它性能，使整个工艺过程的温度降低，时间缩短，劳动强度减轻，并消除了污染，获得了比常规化学处理工艺更为显著的效果。

目前，用于织物的等离子体处理方式主要分为两种。一种是在大气压环境下对织物进行连续的等离子体处理，这种方式需要高电压才能实现放电，且放电温度较高，对不耐热的织物无法有效处理，且单位时间内处理织物的面积有限，无法提高生产效率。另一种是事先将整卷织物放进反应仓内，在10～100Pa的低压环境下对织物进行等离子体处理，织物通过从放料辊展开后通过放电区再经收料辊收料的方式得到处理，这种方式可以实现稳定辉光放电，但在这种情况下，等离子体只能对织物的表面进行处理，对织物内部的处理效果很差，存在“夹生”现象。

造成织物内部与表面处理效果不均匀的原因主要是处理时反应气体的流动方向是沿着织物表面进行的，反应气体不能均匀到达织物内部，因此，尽管达到了均匀的放电，但织物内外表面的反应气体成分不一致，导致沿织物厚度方向上的处理效果存在较大的差异。因此，如何提供一种稳定辉光放电环境，并且能够使反应气体均匀流经织物厚度方向，以实现对整卷织物的均匀等离子体处理，在保证工作效率的同时兼顾等离子体对整卷织物处理的均匀性，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种用于整卷织物的等离子体处理设备。事先将整卷织物放进反应仓内，通过特殊的进气结构和相适配的放电电极结构，以实现在提供稳定的辉光放电环境的同时，实现反应气体沿织物厚度方向上的均匀分布，从而大大提高对织物内部的处理均匀性，最终达到对整卷织物进行均匀等离子体处理的目的。

为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案。

一种等离子体处理设备，包括等离子体发生单元、抽真空单元及结构单元。所述等离子体发生单元构成设备主体，结构单元设置在等离子体发生单元各组件之间，起连接和紧固作用，抽真空单元设置在等离子体发生单元底部；