[实用新型]激光成像法切割pi网板的装置

权利要求书

1.激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：包含用于夹持网板的工装载台(100)和紫外超短脉冲激光器(10)，紫外超短脉冲激光器(10)的输出光路上依次布置有扩束镜(20)、分光镜单元(30)、光罩板(40)和反射镜组，反射镜组的反射光路衔接振镜(60)，振镜(60)的输出端布置扫描场镜(70)，扫描场镜(70)的投射端正对于工装载台(100)。

2.根据权利要求1所述的激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：所述紫外超短脉冲激光器(10)是波长355nm、脉冲宽度1ns～30ns、频率150～500KHZ、子脉冲数目为5的紫外超短脉冲激光器。

3.根据权利要求1所述的激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：所述分光镜单元(30)包含两片分光镜，以分光方向相互垂直布置。

4.根据权利要求1所述的激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：所述扩束镜(20)是扩束倍率为1倍的扩束镜。

5.根据权利要求1所述的激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：所述反射镜组包含依次布置的反射镜一、反射镜二、反射镜三和反射镜四，光线经反射镜一依次反射传播至反射镜二、反射镜三、反射镜四。

6.根据权利要求1所述的激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：所述扫描场镜(70)是焦距55mm～70mm的扫描场镜。

7.根据权利要求1所述的激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：所述工装载台(100)包含X轴传送单元、Y轴传送单元和基板，X轴传送单元包含X轴大理石底座、X轴直线导轨、X轴连接板和控制X轴连接板运动的X轴直线电机，X轴直线导轨和X轴直线电机安装于X轴大理石底座上，X轴连接板置于X轴直线导轨上，X轴直线电机与X轴连接板驱动连接，从而控制X轴连接板沿X轴直线导轨运动；Y轴传送单元包含Y轴大理石底座、Y轴直线导轨、Y轴连接板和控制Y轴连接板运动的Y轴直线电机，Y轴直线导轨和Y轴直线电机安装于Y轴大理石底座上，Y轴连接板置于Y轴直线导轨上，Y轴直线电机与Y轴连接板驱动连接，从而控制Y轴连接板沿Y轴直线导轨运动；基板置于Y轴连接板上。

8.根据权利要求1所述的激光成像法切割pi网板的装置，其特征在于：所述振镜(60)为全数字式振镜。