[实用新型]一种平面靶材表面CNC加工夹具

说明书

本实用新型公开了一种平面靶材表面CNC加工夹具，包括有多个单元夹具，每个单元夹具分别设置有一夹具底座、定位块和抵顶块。夹具底座固接于铣床平台，夹具底座设置有抵顶块调节机构，抵顶块调节机构连接抵顶块；定位块固接于夹具底座的顶面的一侧，在定位块的内侧面固接有一夹紧块；抵顶块滑动安装于夹具底座的顶面，在抵顶块靠近定位块的一侧面固接有另一夹紧块，抵顶块和定位块之间作相对靠近和远离运动；夹紧块的内侧面分别活动抵顶于工件的相应侧边，工件的被加工面高于夹紧块的顶面。与现有技术相比，本CNC加工夹具结构通过多个并排设置的单元夹具对工件进行工装定位，工装结构稳定可靠，打磨质量。

技术领域

本实用新型涉及靶材生产设备技术领域，尤其是涉及一种平面靶材表面CNC 加工夹具。

背景技术

为了满足溅射的要求，溅射靶材表面的光洁度必须很高，例如无划伤、无凹坑等，因此在溅射靶材的生产工作中需要利用特定的砂轮对溅射靶材进行打磨。

在现有的打磨工艺中，因为溅射靶材多由无磁性或磁性弱的材质所制，磨床的电磁吸附定位装置对溅射靶材无法进行有效定位。所以工作人员一般将溅射靶材直接放置于磨床上，利用溅射靶材自身的重量保持稳定。这种磨削定位方式显然十分不可靠，工件容易发生振动，溅射靶材的表面光洁度和平面度难以达到要求，容易导致溅射靶材的废品率增高，浪费生产材料。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种平面靶材表面CNC 加工夹具，能够对无磁性溅射靶材进行有效的、稳定的工装打磨定位，降低工件在打磨过程中的振动幅度，提高溅射靶材的打磨质量和良品率。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种平面靶材表面 CNC加工夹具，包括有多个沿铣床平台长度方向间隔分布的单元夹具，每个单元夹具分别设置有一夹具底座、定位块和抵顶块。夹具底座固接于铣床平台，夹具底座设置有抵顶块调节机构，抵顶块调节机构连接抵顶块；定位块固接于夹具底座的顶面的一侧，在定位块的内侧面固接有一作为替换组件的夹紧块；抵顶块滑动安装于夹具底座的顶面，在抵顶块靠近定位块的一侧面固接有另一作为替换组件的夹紧块，抵顶块和定位块之间作相对靠近和远离运动；这两个夹紧块朝向相对的两个侧面间隔形成用于装夹工件的工件夹部，夹紧块的内侧面分别活动抵顶于工件的相应侧边，工件的被加工面高于夹紧块的顶面。本CNC加工夹具结构通过多个并排设置的单元夹具对工件进行工装定位，工装结构稳定可靠，打磨质量。

在进一步的技术方案中，每个单元夹具的工件夹部的宽度相同，且相邻两个单元夹具的工件夹部横向对齐；每个工件夹部内分别设置有至少一垫块，垫块的顶面支撑作用于工件的被加工面的相对面。

在进一步的技术方案中，夹紧块以及垫块分别设置为由铝合金材料所制的块体，两个夹紧块分别螺接于定位块和抵顶块的相对朝向的内侧面，两个夹紧块的相对朝向的内侧面分别抵靠放置有一垫块，相应垫块的顶面分别与定位块的内侧面和抵顶块的内侧面相垂直。

在进一步的技术方案中，铣床平台的台面固定有多个减振单元，减振单元具有一减振定位柱，减振定位柱沿工件的边缘方向分布设置，各减振定位柱分别活动抵顶于工件的边缘部，定位柱的顶部横向凸出设置有支撑件，支撑件与工件的被加工面的对应面支撑配合；减振定位柱的顶部以及支撑件分别包覆设置有缓冲层，缓冲层由高分子材料所制。

在进一步的技术方案中，减振定位柱的底部固接有一定位座，夹具底座和定位座分别通过电磁吸附方式或螺栓连接方式固定在铣床平台的台面。

在进一步的技术方案中，减振定位柱套设有一压缩弹簧，压缩弹簧的底端连接定位座，压缩弹簧的顶端连接支撑件。