[实用新型]一种干式吸附桶净化装置

说明书

本实用新型涉及尾气处理技术领域，公开一种干式吸附桶净化装置。干式吸附桶净化装置包括空气发生组件、气体净化器和温度检测仪。干式吸附桶设置有第一进气口和第一排气口，空气发生组件连接于第一进气口，空气发生组件的气体通入干式吸附桶内，能够与干式吸附桶内的填料发生氧化反应，以净化填料；气体净化器设置有第二进气口和第二排气口，第二进气口连接于第一排气口，气体净化器用于净化干式吸附桶内氧化后产生的有毒气体；温度检测仪能够测量干式吸附桶内部的温度。本实用新型实现了连续在线氧化，操作人员可以通过温度变化判断填料的反应程度，同时确保产生的有毒气体不外漏，安全无污染，规范作业流程，提高作业安全性。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种干式吸附桶净化装置。

背景技术

砷烷和磷烷属于易燃易爆剧毒气体，随着半导体行业的发展，国内对于磷烷和砷烷的需求日益增大。现有技术中，采用干式吸附桶处理砷烷和磷烷尾气的处理方法，干式吸附桶内填料为氧化物和氢氧化物，或高活性金属盐负载型的吸附系统。每个吸附桶的填料量决定了它的寿命及处理能力，随着它处理吸附砷烷、磷烷的尾气的增加，吸附桶最终会吸附饱和，失去处理能力。进而需要更换新的吸附桶，饱和后的吸附桶，需要将内部的填料倾倒，以填入新的填料。

目前，在倾倒填料前，需要进行干式吸附桶内部氧化处理，处理时会发热，同时会生成有毒气体。干式吸附桶内部是否氧化完全，人为无法去判断，如果倾倒未氧化完全的填料，填料与空气发生氧化反应，产生热量，容易烫伤操作人员，而且氧化反应产生有毒气体，容易造成操作人员中毒。

基于此，亟需一种干式吸附桶净化装置，以解决上述存在的问题。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种干式吸附桶净化装置，实现了连续在线氧化，操作人员可以通过温度变化判断填料的反应程度，同时确保产生的有毒气体不外漏，安全无污染，规范作业流程，提高作业安全性。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种干式吸附桶净化装置，用于净化干式吸附桶内的填料，所述干式吸附桶设置有第一进气口和第一排气口，包括：

空气发生组件，其连接于所述第一进气口，所述空气发生组件的气体通入所述干式吸附桶内，能够与所述干式吸附桶内的填料发生氧化反应，以净化所述填料；

气体净化器，其设置有第二进气口和第二排气口，所述第二进气口连接于所述第一排气口，所述气体净化器用于净化所述干式吸附桶内氧化后产生的有毒气体；

温度检测仪，所述温度检测仪能够测量所述干式吸附桶内部的温度。

作为优选地，还包括真空泵，所述真空泵连接于所述第二排气口。

作为优选地，还包括流量计，其设置于所述空气发生组件与所述第一进气口之间，所述流量计用于调节进气速度。

作为优选地，所述第一排气口和所述第二进气口之间设有第一阀体。

作为优选地，所述第二排气口与所述真空泵之间设有第二阀体。

作为优选地，还包括旁通管，所述旁通管一端连通所述第一排气口，另一端连通所述第二阀体的进气端，所述旁通管上设置有旁通阀。

作为优选地，还包括侦测器，所述侦测器用于检测所述干式吸附桶或所述气体净化器排出气体是否净化完全。

作为优选地，所述第一阀体、所述第二阀体及所述旁通阀为球阀或闸阀结构。

作为优选地，所述侦测器上还设置有蜂鸣报警器。

作为优选地，所述空气发生组件包括空压机和储气罐。

本实用新型的有益效果为：