[实用新型]一种研磨液加湿系统

说明书

本实用新型涉及研磨液装置技术领域，具体公开了一种研磨液加湿系统，包括研磨液桶，在所述研磨液桶上安装一个加湿系统，所述加湿系统包括加湿器装置、N2供气装置和DIW供液装置，所述研磨液桶和所述加湿器装置均DRAIN2废液排出装置连接；所述DIW供液装置和N2供气装置均与所述加湿器装置连接；所述加湿器装置与研磨液桶连接；打开与加湿器装置连接的DIW供液装置的气动阀或手动阀和N2供气装置的手动阀，纯水和N2进入所述加湿器装置中，形成水雾进入与加湿器装置连接的研磨液桶内。本实用新型实施例提供的一种研磨液加湿系统，通过加湿器产生水蒸气，对研磨液进行加湿，减少研磨液结晶率。

技术领域

本实用新型涉及研磨液装置技术领域，具体是一种研磨液加湿系统。

背景技术

研磨液由磨粒分散于介质制备而成，是一种具有优良化学机械性能的研磨产品，可用于硅片、化合物晶体、精密光学器件、液晶面板、宝石、金属工件等的研磨抛光，而研磨液在使用过程时容易发生结晶的状况，研磨液效果降低，对机器造成损害。因此，如何解决上诉研磨液容易发生结晶情况，是本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种研磨液加湿系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种研磨液加湿系统，包括研磨液桶，在所述研磨液桶上安装一个加湿系统，所述加湿系统包括加湿器装置、N2供气装置和DIW供液装置，所述研磨液桶和所述加湿器装置均DRAIN废液排出装置连接；所述DIW供液装置和N2供气装置均与所述加湿器装置连接；所述加湿器装置与研磨液桶连接；

打开与加湿器装置连接的DIW供液装置的气动阀或手动阀和N2供气装置的手动阀，纯水和N2进入所述加湿器装置中，形成水雾进入与加湿器装置连接的研磨液桶内。

作为本实用新型进一步的方案：所述DIW供液装置以手动阀或气动阀作为开关，为所述加湿器装置提供纯水。

作为本实用新型进一步的方案：所述N2供气装置为所述加湿器装置提供N2。

与现有技术相比，在本实用新型实施例提供的研磨液加湿系统中：1、DIW纯水和N2通过加湿器形成水雾，有效减少研磨液结晶，减少研磨液更换频率，增强研磨液使用寿命。2、DRAIN废液排出装置可以收集加湿器和研磨液桶内废液，方便清洁，提高工作效率。综上所述，本实用新型实施例提供的一种研磨液加湿系统，通过加湿器产生水蒸气，对研磨液进行加湿，减少研磨液结晶率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例。

图1为本实用新型实施例提供的研磨液加湿系统的结构示意图。

图中：1-DIW供液装置，2-加湿器装置，3-研磨液桶，4-DRAIN废液排出装置，5-N2供气装置。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参阅图1，在本实用新型提供的实施例中，一种研磨液加湿系统，包括研磨液桶3，在所述研磨液桶3上安装一个加湿系统，所述加湿系统包括加湿器装置2、N2供气装置5和DIW供液装置1，所述研磨液桶3和所述加湿器装置2均DRAIN废液排出装置4连接；

所述DIW供液装置1和N2供气装置5均与所述加湿器装置2连接；所述加湿器装置2与研磨液桶3连接，所述加湿器装置喷出的水雾为纯水和N2；