[实用新型]用于水气两用的旋转接头组件

说明书

本实用新型提供了一种用于水气两用的旋转接头组件，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本用于水气两用的旋转接头组件包括轴套和轴体，上述轴体上沿其轴向具有进水路和出水路，上述轴套套在轴体外侧且两者轴向固连，上述轴套侧部具有贯穿的进水口和出水口，上述进水路与进水口相连通，上述出水口与出水路相连通，所述轴套上端与轴体密封连接，所述轴套下端与轴体密封连接。本用于水气两用的旋转接头组件稳定性高。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种用于水气两用的旋转接头组件。

背景技术

在半导体抛光工艺中，保持抛光盘温度稳定显得尤为重要，抛光盘温差会影响硅片抛光质量，同时抛光盘常采用真空吸附方式固定，此工况下需要水气两用的旋转接头。

其中，市面上现有的旋转接头孔路分布凌乱，易出现安装出错的情况，同时拆卸也不方便；水气路密封不可靠，易出现泄露状况。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种稳定性高且便于装卸的用于水气两用的旋转接头组件。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，包括轴套和轴体，上述轴体上沿其轴向具有进水路和出水路，上述轴套套在轴体外侧且两者轴向固连，上述轴套侧部具有贯穿的进水口和出水口，上述进水路与进水口相连通，上述出水口与出水路相连通，所述轴套上端与轴体密封连接，所述轴套下端与轴体密封连接。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴体上具有贯穿其两端的进气通道。

冷却水经进水口进入设备内，冷却完成后经出水口完成循环；气路从中间的近气通道通过；工作时转轴跟随设备旋转，套管则通过固定在对应的机架上，方便拆卸，水气两用。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴套与轴体之间具有轴承。

在轴承的作用下轴体能相对于轴套顺畅转动。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴承的数量为两个，两个轴承分别位于轴套的上端和下端处。

多个轴承能进一步提高轴体的转动顺畅性。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴套内侧具有环形凹入的定位槽，上述轴承外侧嵌于定位槽内。

通过定位槽能将轴承稳定的定位在轴套内侧。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴套内侧与轴体之间具有油封，所述油封的数量为若干个且若干油封沿轴体的轴线方向排列设置。

通过油封能对轴套的上端以及下端处稳定密封。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述进水口位于相邻两油封之间。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述出水口位于相邻两油封之间。

在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴体下端处连接有锁紧螺母。

通过锁紧螺母能对轴套限位，避免轴套与轴体脱离。

与现有技术相比，本用于水气两用的旋转接头组件水气两用，密封可靠、方便拆卸且结构紧凑可靠。

附图说明

图1是本用于水气两用的旋转接头组件的剖视结构示意图。

图中，1、轴套；1a、进水口；1b、出水口；1c、定位槽；2、轴体；3、进水路；4、出水路；5、进气通道；6、轴承；7、油封；8、锁紧螺母。

具体实施方式