[发明专利]多通道校正方法

说明书

本申请提供一种多通道校正方法，包含下列步骤。分别连接第一参考模块与第二参考模块至标准组件的两端。由第一参考模块量测标准组件的跨电压，并且由第二参考模块量测流经标准组件的电流，据以计算参考阻抗值。由第一参考模块量测标准组件的跨电压，并且由第一测试模块量测流经标准组件的电流，据以计算第一阻抗值。依据参考阻抗值与第一阻抗值，计算第一电流校正系数。由第一测试模块量测标准组件的跨电压，并且由第二参考模块量测流经标准组件的电流，据以计算第二阻抗值。依据参考阻抗值与第二阻抗值，计算第一电压校正系数。

技术领域

本申请是关于一种校正方法，特别是关于一种多通道的校正方法。

背景技术

为了因应待测组件具多脚位及功能越来越复杂的趋势，测试装置已经逐渐采用具备更大弹性的多信道量测架构。例如，测试装置为了支持高同测功能(high paralleltest)，可以采用任意针脚(any pin)的量测架构。也就是说，不论待测组件如何连接到测试装置的针脚，测试装置都可以经由内部的不同测试模块(测试信道)取得电子组件的电压、电流或者其他的电性参数。藉此，有弹性的多信道量测架构可以增加使用者的操作便利性，并且可以提高产品的竞争力。

然而于多通道量测架构中，每一个测试模块可能因为内部组件的偏差、老化或者环境因素(如温度与湿度)，而产生量测上的误差。因此，测试装置需要先对测试模块进行校正，才有可能量测出更精准可靠的数据。实务上，于前述任意针脚的量测架构下，由于测试装置可以任意选择两个测试模块搭配使用，这些测试模块通常会产生大量的排列组合，导致校正的过程十分费时。举例来说，如果测试装置有五个测试模块，由于使用上可以任意选择五个测试模块中的两个，则会有₅P₂共20种的测试模块排列组合。传统上，由于每一种测试模块排列组合都需要被校正，一旦测试模块的总数更多，所花费在校正的时间将会大幅增加。因此，业界需要一种新的多通道校正方法，以减少任意针脚的量测架构下的测试模块校正时间。

发明内容

本申请所要解决的技术问题在于提供一种多通道校正方法，可以用于校正多个测试模块，以减少任意针脚的量测架构下的测试模块校正时间。

本申请提出一种多通道校正方法，包含下列步骤。分别连接第一参考模块与第二参考模块至标准组件的两端。由第一参考模块量测标准组件的跨电压，并且由第二参考模块量测流经标准组件的电流，据以计算关联于标准组件的参考阻抗值。将第二参考模块替换为第一测试模块，由第一参考模块量测标准组件的跨电压，并且由第一测试模块量测流经标准组件的电流，据以计算关联于标准组件的第一阻抗值。依据参考阻抗值与第一阻抗值，计算关联于第一测试模块的第一电流校正系数。将第一参考模块替换为第一测试模块，由第一测试模块量测标准组件的跨电压，并且由第二参考模块量测流经标准组件的电流，据以计算关联于标准组件的第二阻抗值。依据参考阻抗值与第二阻抗值，计算关联于第一测试模块的第一电压校正系数。

于一些实施例中，第一电压校正系数与第一电流校正系数可以储存于第一测试模块。所述多通道校正方法可以依据参考阻抗值与关联于标准组件的标准阻抗值，计算参考校正系数。并且，所述多通道校正方法更可以包含下列步骤。分别连接第一测试模块与第二测试模块至待测组件的两端。由第一测试模块量测待测组件的跨电压，并且由第二测试模块量测流经待测组件的电流，据以计算关联于待测组件的第一待测阻抗值。依据第一待测阻抗值、第一电压校正系数、第二电流校正系数与参考校正系数，计算关联于待测组件的真实阻抗值。以及，分别连接第二测试模块与第二参考模块至标准组件的两端。由第二测试模块量测标准组件的跨电压，并且由第二参考模块量测流经标准组件的电流，据以计算关联于标准组件的第三阻抗值。依据参考阻抗值与第三阻抗值，计算关联于第二测试模块的第二电流校正系数。