[发明专利]一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法

权利要求书

1.一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置，其特征在于，包括：

激光器，其用于产生并输出激光光束；

振镜，其用于对激光器输出的激光光束进行偏转；

透镜组以及聚焦镜组，从振镜中射出的激光光束经透镜组改变角度后进入聚焦镜组，所述聚焦镜组对激光光束进行处理，使得从聚焦镜组中射出的激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除；

所述振镜输出的激光光束的光轴与透镜组、聚焦镜组的中心轴重合；

所述聚焦镜组包括：沿入射端至出射端方向依次设置的第一双凸透镜、第二双凸透镜、第一弯月透镜、第二弯月透镜及保护镜片。

2.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述倾角θ满足条件：30°≤θ≤60°。

3.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第一运动模组，其连接所述振镜，用于带动振镜沿从振镜中输出的激光光束的光轴移动。

4.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述透镜组包括：位于入射端的平凸透镜和位于出射端的平凹透镜，且所述平凸透镜和平凹透镜的光轴重合。

5.如权利要求4所述的去除装置，其特征在于，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第二运动模组，其连接所述平凸透镜和/或平凹透镜，用于带动所述平凸透镜和/或平凹透镜沿从振镜中射出的激光光束的光轴移动，使得所述平凸透镜、平凹透镜发生相对运动。

6.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述滤波器孔状结构包括开设在陶瓷介质滤波器侧壁上的盲孔和/或通孔。

7.一种利用权利要求1-6任一项所述的去除装置去除滤波器孔状结构内壁镀层的方法，其特征在于，包括如下步骤：

获取滤波器孔状结构的参数信息；

根据所述滤波器孔状结构的参数信息调整振镜和/或透镜组的参数设置；

产生并输出激光光束，所述激光光束依次经过振镜、透镜组、聚焦镜组射出后具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述参数设置包括：振镜镜片的偏转角度、振镜在光路上的位置中的一种或几种。